[發(fā)明專利]提高啟動工序效率的氣體激光裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510079778.0
• 申請日: 2015-02-13
• 公開（公告）號: CN104868349A
• 公開（公告）日: 2015-08-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 西尾明彥
• 申請（專利權(quán)）人: 發(fā)那科株式會社
• 主分類號: H01S3/036
• 分類號: H01S3/036
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 曾賢偉;郝慶芬

1.一種氣體激光裝置，具備封裝有激光氣體的容器和將激光氣體作為激發(fā)介質(zhì)使激光振蕩的激光振蕩器，該氣體激光裝置的特征在于，具備：

壓力檢測部，其檢測上述容器內(nèi)的氣體的壓力；

排氣部，其排出上述容器內(nèi)的氣體；

供氣部，其向上述容器內(nèi)供給激光氣體；

壓力存儲部，其即使電源被切斷也保持存儲信息，存儲通過上述壓力檢測部檢測出的上述壓力；

比較部，其將通過上述壓力存儲部存儲的在該氣體激光裝置緊急停止時的上述容器內(nèi)的氣體壓力和通過上述壓力檢測部檢測出的在緊急停止后再啟動該氣體激光裝置時的上述容器內(nèi)的氣體壓力進行比較；

判定部，其根據(jù)上述比較部的比較結(jié)果，判定是否應(yīng)該執(zhí)行上述容器內(nèi)的氣體的排出和向上述容器內(nèi)的上述激光氣體的供給。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體激光裝置，其特征在于，

上述判定部根據(jù)上述比較部的比較結(jié)果來決定排出上述容器內(nèi)的氣體的排氣工序的執(zhí)行方式。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體激光裝置，其特征在于，

上述判定部決定上述排氣工序的上述容器內(nèi)的激光氣體的壓力目標值、排氣次數(shù)、排氣時間中的至少一個。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任意一項所述的氣體激光裝置，其特征在于，

上述壓力存儲部周期地存儲上述容器內(nèi)的氣體壓力。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任意一項所述的氣體激光裝置，其特征在于，

還具備：預(yù)備電源裝置，其在對該氣體激光裝置供給的主電力被切斷時對上述壓力檢測部供給預(yù)備電力，

上述壓力檢測部，在上述主電力剛被切斷后就檢測上述容器內(nèi)的氣體的壓力。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氣體激光裝置，其特征在于，

還具備檢測上述主電力已下降的電力下降檢測器，

上述電力下降檢測器根據(jù)向該氣體激光裝置供給的電力、電流以及電壓中的至少一個，檢測上述主電力已被切斷。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣體激光裝置，其特征在于，

通過上述電力下降檢測器檢測出上述主電力已被切斷后，通過上述壓力存儲部存儲由上述壓力檢測部檢測出的上述容器內(nèi)的氣體的壓力。