[發(fā)明專利]硅片插片機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510079276.8
• 申請日: 2015-02-13
• 公開（公告）號: CN104681667A
• 公開（公告）日: 2015-06-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 邱文良
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州博陽能源設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 蘇州翔遠(yuǎn)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32251
• 代理人: 王華

1.一種硅片插片機(jī)，其特征在于：包括空載硅片承載盒輸送帶、負(fù)載硅片承載盒輸送帶和硅片供片裝置，所述硅片供片裝置包括硅片分片機(jī)構(gòu)、硅片輸送機(jī)構(gòu)和硅片位置校正裝置；所述硅片分片機(jī)構(gòu)包括第一輸送帶、第二輸送帶、儲片盒和吹氣口；所述第一輸送帶與第二輸送帶上下間隔設(shè)置，所述第一輸送帶位于所述第二輸送帶的上方，且所述第一輸送帶的第一端的投影位于所述第二輸送帶上，所述儲片盒對應(yīng)所述第一輸送帶的第二端設(shè)置，所述儲片盒內(nèi)設(shè)有硅片上下移動驅(qū)動裝置；所述吹氣口位于所述第一輸送帶的下方，吹氣方向朝向所述儲片盒設(shè)置；所述硅片輸送機(jī)構(gòu)包括至少一個第三輸送帶和至少一個第四輸送帶；所述第三輸送帶的從動軸鉸接于一驅(qū)動缸的活塞桿上，所述第三輸送帶的從動軸的一端的下方設(shè)有廢硅片收納盒；所述第三輸送帶和第四輸送帶串連設(shè)置；所述硅片分片機(jī)構(gòu)的第二輸送帶與所述硅片輸送機(jī)構(gòu)對接；所述硅片輸送機(jī)構(gòu)的兩側(cè)設(shè)有硅片位置校正裝置；所述空載硅片承載盒輸送帶和負(fù)載硅片承載盒輸送帶平行且間隔設(shè)置，所述硅片供片裝置設(shè)于所述空載硅片承載盒輸送帶和負(fù)載硅片承載盒輸送帶之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片插片機(jī)，其特征在于：所述吹氣口通過管路與一供氣裝置連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片插片機(jī)，其特征在于：所述第一輸送帶傾斜設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片插片機(jī)，其特征在于：所述儲片盒內(nèi)容納有水。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片插片機(jī)，其特征在于：所述第四輸送帶水平設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片插片機(jī)，其特征在于：所述廢硅片收納盒內(nèi)容納有水。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片插片機(jī)，其特征在于：所述硅片位置校正裝置設(shè)于第四輸送帶兩側(cè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片插片機(jī)，其特征在于：所述硅片位置校正裝置包括兩間隔并平行設(shè)立的限位板，每個限位板作用有驅(qū)動氣缸。