[發明專利]基板檢查探測裝置和基板檢查方法

在審

• 申請號: 201510079222.1
• 申請日: 2015-02-13
• 公開（公告）號: CN104950484A
• 公開（公告）日: 2015-09-30
• 發明（設計）人: 相良智行
• 申請（專利權）人: 夏普株式會社
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所 11323
• 代理人: 權鮮枝

一種基板檢查探測裝置和基板檢查方法，在重新調整端子和探測器的相對位置時，不需要對準用的CCD照相機、促動機構就可實現檢查?；鍣z查探測裝置具備與檢查用端子部(7)的構成端子的排列間距對應的探測器群(A、C)，探測器群(A、C)在端子的排列方向上錯開，設有測量檢查用端子部(7)的2個端子間的電阻值R的電阻測量部(12)，并且針對各端子設有切換開關(11)。

技術領域

本發明涉及基板檢查探測裝置和基板檢查方法。

背景技術

近年來，顯示面板搭載于以便攜電話、智能電話、平板電腦等為代表的中小型數字制品。這種顯示面板由以下方法制造。首先，在所謂母玻璃上制作CF面板基板和TFT面板基板各自的基板。然后，在用密封材料等貼合CF面板基板和TFT面板基板后，利用切割輪將CF面板基板側切割。然后，使母玻璃反轉，利用多個切割輪將TFT面板基板側切割。通過這種切割，將貼合的一對基板按規定的尺寸切割，制作顯示面板。

該顯示面板的切割精度會由于切割輪的晃動、切割輪的定位精度、CF面板基板側和TFT面板基板側的切割錯位等因素而相對于設定值產生±0.1mm程度的切割偏差。

對按規定尺寸切割的顯示面板，使檢查單元的探測器接觸形成于TFT基板表面的端子部，進行規定的點亮檢查。通過該點亮檢查，進行電極的斷路、短路、點亮狀態的確認來實施顯示面板的檢查。

在該點亮檢查中，需要端子部和探測器高精度的對位。例如，在TFT液晶顯示面板中，當由于錯位而導致對引導端子施加錯誤電壓時，根據該電壓施加的時間會使TFT損壞。因此，由于面板的切割位置精度偏差的影響，在根據顯示面板的外形基準來定位面板并使探測器接觸的情況下，會由于上述錯位而頻發TFT損壞的情況。

因此，在顯示面板的檢查中，多數情況下使用具有自動對準機構的檢查裝置。例如專利文獻1公開了具有自動對準機構的檢查裝置。

根據使用該檢查裝置的檢查方法，首先，用CCD照相機拍攝設于液晶顯示面板的對準標記，用圖像處理單元對該拍攝信號進行處理來確定液晶顯示面板的引導端子的位置。然后，基于確定的引導端子的位置數據來使探針或者液晶顯示面板移動，進行端子部和探針的對位。在專利文獻1中，提出了對端子部施加點亮電壓之前，在使探針實際接觸的狀態下可靠地檢測端子部和探針的對位狀態的方案。

在利用專利文獻1的檢查裝置進行的檢查方法中，在端子部配置有虛擬端子，在保持探針的探頭側各設有一對經上述虛擬端子流過導通檢查電流的電流探針。并且，在使全部上述電壓探針和上述電流探針與上述端子部接觸后，僅使上述電流探針間流過導通檢查電流。然后，根據該電流的導通、非導通來檢測上述電壓探針和上述引導端子之間有無錯位。在上述電流探針間電流導通而位置不錯開的情況下，原樣保持使上述電流探針與上述虛擬端子接觸的狀態，從上述電壓探針分別對上述引導端子施加點亮電壓。

根據專利文獻1的檢查方法，在端子部和探測器的高精度對位后用虛擬端子確認導通，由此能在確認最終的端子部和探測器的對位狀態后實施點亮檢查。因此，不會由于錯位而損壞TFT。

另外，例如專利文獻2公開了一種顯示器面板的點亮檢查裝置。而且，專利文獻3公開了一種導通檢查裝置，使檢查探測器與形成于基板表面的導體圖案接觸來進行導體圖案的導通檢查。

現有技術文獻

專利文獻1：專利第4803692號(2011年10月26日發行)

專利文獻2：特開2004-170238號公報(2004年6月17日公開)

專利文獻3：特開平10-115653號公報(1998年5月6日公開)

發明內容

發明要解決的問題