[發明專利]制備化學機械拋光層的方法有效
| 申請號： | 201510078851.2 | 申請日： | 2015-02-13 |
| 公開（公告）號： | CN104842261B9 | 公開（公告）日： | 2020-09-04 |
| 發明（設計）人： | G·麥克克萊恩;A·塞金;D·科萊薩爾;A·薩拉弗納斯;R·L·波斯特 | 申請（專利權）人： | 羅門哈斯電子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/26 | 分類號： | B24B37/26;B24B53/00;B24B53/017;B24D3/28 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 項丹;江磊 |
| 地址： | 美國特*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制備 化學 機械拋光 方法 | ||
1.一種制造用于對基材進行拋光的拋光層的方法，所述基材選自磁性基材、光學基材和半導體基材中的至少一種基材，所述方法包括：
提供液體預聚物材料，其中，所述液體預聚物材料發生反應以形成包含聚(氨酯)的材料；
提供多個可熱膨脹的空心微球體，其中，所述多個可熱膨脹的空心微球體中的每個可熱膨脹的空心微球體具有聚(偏二氯乙烯)/聚丙烯腈共聚物殼，以及其中，所述聚(偏二氯乙烯)/聚丙烯腈共聚物殼包封異丁烷；
使得所述多個可熱膨脹的空心微球體與二氧化碳氣氛接觸，接觸時間3小時，以形成多個經處理的空心微球體；
將所述液體預聚物材料與所述多個經處理的空心微球體結合，以形成可固化混合物；
允許所述可固化混合物經受反應，以形成固化的材料，其中，所述反應允許在形成所述多個經處理的空心微球體之后的≤24小時開始；以及
從所述固化的材料得到至少一層拋光層；
其中，所述至少一層拋光層具有適合對基材進行拋光的拋光表面。
2.如權利要求1所述的方法，
其中，通過采用氣體對多個可熱膨脹的空心微球體進行流化，使得所述多個可熱膨脹的空心微球體與二氧化碳氣氛接觸，接觸的時間≥5小時，以形成多個經處理的空心微球體；其中所述氣體是≥30體積％的CO2。
3.如權利要求1所述的方法，所述方法還包括：
提供模具；以及
將可固化混合物轉移到模具中；
其中，所述可固化混合物在模具中經受反應以形成固化的材料。
4.如權利要求3所述的方法，所述方法還包括：
對所述固化的材料進行切片以形成所述至少一層拋光層。
5.如權利要求4所述的方法，其特征在于，所述至少一層拋光層是多層拋光層。
6.如權利要求5所述的方法，
其中，通過采用氣體對多個可熱膨脹的空心微球體進行流化，使得所述多個可熱膨脹的空心微球體與二氧化碳氣氛接觸，接觸的時間≥5小時，以形成多個經處理的空心微球體；其中所述氣體是≥30體積％的CO2。
7.如權利要求6所述的方法，其特征在于，所述反應允許在形成所述多個經處理的空心微球體之后的≤1小時開始。
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