[發(fā)明專利]熱處理方法及熱處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510076277.7
• 申請日: 2015-02-12
• 公開（公告）號: CN104900517B
• 公開（公告）日: 2018-02-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 藤田浩;木村貴弘
• 申請（專利權(quán)）人: 斯克林集團公司
• 主分類號: H01L21/324
• 分類號: H01L21/324;H01L21/67
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11205
• 代理人: 楊貝貝,臧建明

1.一種熱處理方法，通過對形成有加熱對象物的基材照射光而使所述加熱對象物升溫，并且所述熱處理方法的特征在于包括以下工序：

供給工序，將在低于所述加熱對象物的升溫目標(biāo)溫度的溫度下發(fā)生相轉(zhuǎn)變的相轉(zhuǎn)變物質(zhì)選擇性地供給于供給區(qū)域，其中所述供給區(qū)域至少包含所述基材中必須抑制升溫的升溫抑制區(qū)域；以及

加熱工序，對附著有所述相轉(zhuǎn)變物質(zhì)的基材照射光，對所述加熱對象物進行加熱。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱處理方法，其特征在于，所述相轉(zhuǎn)變物質(zhì)的轉(zhuǎn)變溫度低于基材產(chǎn)生熱損傷的溫度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的熱處理方法，其特征在于，在所述加熱工序中，對基材照射閃光。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的熱處理方法，其特征在于，在所述供給工序中，將含有所述相轉(zhuǎn)變物質(zhì)的液體供給于所述基材。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱處理方法，其特征在于，在所述供給工序之前，還包括以下工序：在含有所述相轉(zhuǎn)變物質(zhì)的液體中，添加提高所述液體的粘性的增粘劑。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱處理方法，其特征在于，在所述供給工序之前，還包括以下工序：對所述供給區(qū)域?qū)嵤┯H水化處理而賦予親水性。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的熱處理方法，其特征在于，在所述賦予親水性工序之后且所述供給工序之前，還包括以下工序：對所述供給區(qū)域的周圍實施斥水化處理，由斥水性區(qū)域來包圍所述供給區(qū)域。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱處理方法，其特征在于，在所述供給工序中，將含有液相的所述相轉(zhuǎn)變物質(zhì)的液體供給于所述基材。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的熱處理方法，其特征在于，還包括以下工序：使通過所述供給工序而被供給于所述基材的液相的所述相轉(zhuǎn)變物質(zhì)凝固。

10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱處理方法，其特征在于，在所述供給工序中，將含有使所述相轉(zhuǎn)變物質(zhì)溶解在溶劑中所得的溶液的液體供給于所述基材。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的熱處理方法，其特征在于，還包括：析出工序，從通過所述供給工序而被供給于所述基材的溶液中去除溶劑，使所述相轉(zhuǎn)變物質(zhì)在所述供給區(qū)域析出。

12.根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱處理方法，其特征在于，在所述供給工序中，從噴出液滴的噴嘴中將含有所述相轉(zhuǎn)變物質(zhì)的液體噴出到所述供給區(qū)域中。

13.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的熱處理方法，其特征在于，在所述供給工序中，將含有所述相轉(zhuǎn)變物質(zhì)的固體供給于所述基材。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的熱處理方法，其特征在于，在所述供給工序中，將含有固相的所述相轉(zhuǎn)變物質(zhì)的固體供給于所述基材。

15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的熱處理方法，其特征在于，在所述供給工序之前，還包括以下工序：將含有所述相轉(zhuǎn)變物質(zhì)的固體融解時所產(chǎn)生的液體的粘性提高的增粘劑添加到所述固體中。

16.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的熱處理方法，其特征在于，

所述供給工序包括以下工序：

對于在與所述供給區(qū)域相對應(yīng)的圖案欲選擇性地附著所述相轉(zhuǎn)變物質(zhì)的印刷版供給所述相轉(zhuǎn)變物質(zhì)；以及

將附著在所述印刷版上的所述相轉(zhuǎn)變物質(zhì)轉(zhuǎn)印到所述基材的所述供給區(qū)域上。

17.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的熱處理方法，其特征在于，在所述加熱工序后，還包括將殘留在所述基材上的所述相轉(zhuǎn)變物質(zhì)去除的去除工序。

18.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的熱處理方法，其特征在于，在所述供給工序中，對與形成有所述加熱對象物的所述基材的第1面為相反側(cè)的第2面供給所述相轉(zhuǎn)變物質(zhì)。

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的熱處理方法，其特征在于，在所述供給工序中，使承載有所述相轉(zhuǎn)變物質(zhì)的承載構(gòu)件接近所述第2面，將所述相轉(zhuǎn)變物質(zhì)供給于所述供給區(qū)域。

20.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的熱處理方法，其特征在于，所述相轉(zhuǎn)變物質(zhì)為水。

21.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的熱處理方法，其特征在于，所述基材為長條。

22.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的熱處理方法，其特征在于，所述基材為板狀或片狀。