[發(fā)明專利]一種圖形晶圓無(wú)損傷清洗裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510076158.1
• 申請(qǐng)日: 2015-02-12
• 公開（公告）號(hào): CN104646350B
• 公開（公告）日: 2016-10-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 滕宇;吳儀
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/12
• 分類號(hào): B08B3/12;B08B3/08
• 代理公司: 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 陶金龍;張磊

1.一種圖形晶圓無(wú)損傷清洗裝置，用于對(duì)放置在清洗設(shè)備旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上的圖形晶圓進(jìn)行超聲波藥液清洗，其特征在于，所述清洗裝置包括一懸設(shè)于所述圖形晶圓上方的中空殼體，所述殼體的中空內(nèi)部設(shè)有超聲波發(fā)生機(jī)構(gòu)，所述超聲波發(fā)生機(jī)構(gòu)下方連接一超聲波能量選擇性去除機(jī)構(gòu)，所述超聲波能量選擇性去除機(jī)構(gòu)包括由多個(gè)垂直間隙設(shè)置的石英棒構(gòu)成的等高陣列，所述石英棒陣列自所述殼體下方伸出；從所述超聲波發(fā)生機(jī)構(gòu)傳導(dǎo)出的超聲波能量經(jīng)所述石英棒陣列的選擇性去除后，通過(guò)沒入圖形晶圓上的清洗藥液中的所述石英棒陣列的下端垂直傳導(dǎo)至圖形晶圓表面，以進(jìn)行超聲波移動(dòng)清洗。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述超聲波發(fā)生機(jī)構(gòu)包括上下連接設(shè)置的壓電材料和金屬耦合層，所述金屬耦合層下端連接所述超聲波能量選擇性去除機(jī)構(gòu)，所述壓電材料、金屬耦合層通過(guò)所述殼體所設(shè)電纜接頭與外部電源連接并形成回路，所述壓電材料通過(guò)接收電信號(hào)產(chǎn)生高速形變，形成超聲振蕩，并依次傳導(dǎo)至其下方的所述金屬耦合層、石英棒陣列。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的清洗裝置，其特征在于，所述壓電材料和金屬耦合層通過(guò)導(dǎo)電膠連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的清洗裝置，其特征在于，所述金屬耦合層為單一金屬層或復(fù)合金屬層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述超聲波能量選擇性去除機(jī)構(gòu)包括一石英保護(hù)圈，所述保護(hù)圈環(huán)繞所述石英棒陣列間隙設(shè)置，其下端高于所述石英棒陣列的下端；所述超聲波能量選擇性去除機(jī)構(gòu)上端與所述超聲波發(fā)生機(jī)構(gòu)下端通過(guò)導(dǎo)電膠、或者低熔點(diǎn)合金、或者金或銀連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1、2或5所述的清洗裝置，其特征在于，所述石英棒為實(shí)心圓柱體。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的清洗裝置，其特征在于，所述石英棒的直徑為0.5～5mm，高度不小于2mm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述殼體連接擺臂，所述擺臂帶動(dòng)所述清洗裝置對(duì)圖形晶圓進(jìn)行超聲波移動(dòng)清洗。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述殼體側(cè)部設(shè)有位置及數(shù)量可調(diào)的清洗藥液管路，用于向下方的圖形晶圓噴淋清洗藥液。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述殼體設(shè)有冷卻氣體進(jìn)出口，用于向其中空內(nèi)部通入冷卻氣體，對(duì)所述超聲波發(fā)生機(jī)構(gòu)冷卻。