[發明專利]一種對VAD和OVD火焰溫度進行在線調整的裝置和方法

有效

• 申請號: 201510073813.8
• 申請日: 2015-02-12
• 公開（公告）號: CN104649577B
• 公開（公告）日: 2017-03-01
• 發明（設計）人: 沈小平;向德成;田錦成;賀程程;沈國鋒;滿小忠
• 申請（專利權）人: 江蘇通鼎光棒有限公司
• 主分類號: C03B37/018
• 分類號: C03B37/018
• 代理公司: 蘇州慧通知識產權代理事務所(普通合伙)32239
• 代理人: 安紀平

1.一種對VAD和OVD火焰溫度進行在線調整的裝置，其包括噴燈和設置在所述噴燈出口處的套筒，其特征在于，所述噴燈外表面套設有加熱裝置一，所述套筒外表面套設有加熱裝置二，預制棒疏松體靠近所述噴燈出口處為預制棒疏松體的沉積區域，靠近所述沉積區域設有一對加熱裝置三，所述加熱裝置三設置所述沉積區域的前后位置上。

2.根據權利要求1所述的一種對VAD和OVD火焰溫度進行在線調整的裝置，其特征在于，所述加熱裝置一的加熱體為石墨電阻或電阻絲，所述加熱體外部包裹絕緣保溫層。

3.根據權利要求2所述的一種對VAD和OVD火焰溫度進行在線調整的裝置，其特征在于，所述加熱裝置一的加熱體的最高加熱溫度至少為1200℃。

4.根據權利要求1所述的一種對VAD和OVD火焰溫度進行在線調整的裝置，其特征在于，所述套筒的孔徑比所述噴燈出口處的外徑大且能夠卡套到所述噴燈出口處，所述套筒突出于所述噴燈的長度為所述噴燈孔徑的3-5倍，所述套筒與噴燈處在同軸位置。

5.根據權利要求4所述的一種對VAD和OVD火焰溫度進行在線調整的裝置，其特征在于，所述加熱裝置二的加熱體為石墨電阻或電阻絲，所述加熱體外部包裹絕緣保溫層。

6.根據權利要求5所述的一種對VAD和OVD火焰溫度進行在線調整的裝置，其特征在于，所述加熱裝置二的加熱體的最高加熱溫度至少為1400℃。

7.根據權利要求1所述的一種對VAD和OVD火焰溫度進行在線調整的裝置，其特征在于，所述加熱裝置三為由支撐件支撐的石墨電阻，所述加熱裝置三的最高加熱溫度至少為1400℃。

8.根據權利要求1所述的一種對VAD和OVD火焰溫度進行在線調整的裝置，其特征在于，還包括非接觸式高溫紅外測溫儀，所述非接觸式高溫紅外測溫儀用于在線檢測火焰和所述沉積區域的溫度。

9.根據權利要求1所述的一種對VAD和OVD火焰溫度進行在線調整的裝置，其特征在于，所述噴燈為石英噴燈，所述套筒為石英套筒。

10.一種對VAD和OVD火焰溫度進行在線調整的方法，其基于權利要求1-8任意一項中所述的對VAD和OVD火焰溫度進行在線調整的裝置，其特征在于，包括以下幾步：

第一步：預制棒疏松體沉積之前，根據流體力學的要求先對所述噴燈各個通道內氣體流量進行設定，使所述噴燈噴射出的各路氣體處于層流狀態；

第二步：預制棒疏松體沉積過程中，通過所述非接觸式高溫紅外測溫儀對噴燈噴出的火焰和沉積區域的溫度在線檢測，當所述噴燈被點火后并且調節各路氣體達到目標值，開啟并且調節加熱裝置一和加熱裝置二，使得火焰的溫度達到目標值；

第三步：開啟并且調節加熱裝置三，使沉積區域的溫度達到目標值；

第四步：完成以上三步設備調節后，熄滅噴燈火焰，加熱裝置一、加熱裝置二和加熱裝置三的加熱功率保持恒定，然后重新安裝預制棒、點火等操作，開始沉積預制棒疏松體。