[發(fā)明專利]一種基于光學(xué)相位解調(diào)的透鏡中心厚度測量裝置及利用其的測量方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510072023.8 | 申請日： | 2015-02-12 |
| 公開（公告）號： | CN104613882A | 公開（公告）日： | 2015-05-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 孫玉娟;吳迪富;姚紅兵;李麗淋;單國云;吳廣劍 | 申請（專利權(quán)）人： | 江蘇宇迪光學(xué)股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/06 | 分類號： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32243 | 代理人： | 盧海洋 |
| 地址： | 226400 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 光學(xué) 相位 解調(diào) 透鏡 中心 厚度 測量 裝置 利用 測量方法 | ||
1.一種基于光學(xué)相位解調(diào)的透鏡中心厚度測量裝置，其特征在于，包括激光聚焦光源、分光鏡Ⅰ、反射鏡Ⅰ、反射鏡Ⅱ、分光鏡Ⅱ、功率檢測儀和計算機，所述激光聚焦光源、分光鏡Ⅰ和反射鏡Ⅰ處于同一水平直線上，所述分光鏡Ⅰ位于激光聚焦光源和反射鏡Ⅰ之間，所述反射鏡Ⅱ位于分光鏡Ⅰ的正下方，所述分光鏡Ⅱ位于反射鏡Ⅰ的正下方，所述反射鏡Ⅱ、分光鏡Ⅱ和功率檢測儀處于同一水平直線上，所述計算機接收功率檢測儀的數(shù)據(jù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種基于光學(xué)相位解調(diào)的透鏡中心厚度測量裝置，其特征在于，測量方法為：首先測量未加入透鏡前的干涉光功率的大小，即接通激光聚焦光源發(fā)射光束，光束通過分光鏡Ⅰ分為兩條光路，即測量光路和參考光路；測量光路的光束直接到達反射鏡Ⅰ，由反射鏡Ⅰ折射至分光鏡Ⅱ；參考光路的光束由反射鏡Ⅱ折射至分光鏡Ⅱ；兩條光路的光最終在分光鏡Ⅱ處進行匯聚發(fā)生干涉，功率檢測儀測出未加透鏡前的干涉光功率的大小；然后測量加入透鏡后的干涉光功率的大小，即將待測量的透鏡放置在分光鏡Ⅰ和反射鏡Ⅰ之間，且保證透鏡的中心點與激光聚焦光源發(fā)射的光束處于同一直線上，接通激光聚焦光源發(fā)射光束，光束通過分光鏡Ⅰ分為兩條光路，即測量光路和參考光路；測量光路的光束插入透鏡后到達反射鏡Ⅰ，由反射鏡Ⅰ折射至分光鏡Ⅱ；參考光路的光束由反射鏡Ⅱ折射至分光鏡Ⅱ；兩條光路的光最終在分光鏡Ⅱ處進行匯聚發(fā)生干涉，功率檢測儀測出加入透鏡后的干涉光功率的大小；由于透鏡中心厚度和兩個干涉光功率的比值具有一定的函數(shù)關(guān)系，所以可以通過計算機計算出透鏡中心厚度的大小。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種基于光學(xué)相位解調(diào)的透鏡中心厚度測量方法，其特征在于，所述函數(shù)關(guān)系的計算公式為：
，I有透鏡為加入透鏡后的干涉光強、I未加透鏡為未加入透鏡前的干涉光強，P有透鏡為加入透鏡后的干涉光功率值、P未加透鏡為未加入透鏡前的干涉光功率值。
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