[發明專利]感光性聚硅氧烷組合物、保護膜及具有保護膜的元件

在審

• 申請號: 201510070740.7
• 申請日: 2015-02-11
• 公開（公告）號: CN104849962A
• 公開（公告）日: 2015-08-19
• 發明（設計）人: 黃偉杰;施俊安
• 申請（專利權）人: 奇美實業股份有限公司
• 主分類號: G03F7/075
• 分類號: G03F7/075
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 賈靜環

技術領域

本發明涉及一種感光性聚硅氧烷組合物、保護膜及具有保護膜的元件。特別涉及一種用來形成具有良好斷面形狀及耐熱性的保護膜的感光性聚硅氧烷組合物、具有良好斷面形狀及耐熱性的保護膜及具有所述保護膜的元件。

背景技術

近年來，為了提升液晶顯示器(liquid?crystal?display,LCD)以及有機電致發光顯示器(organic?electro-luminescence?display,OELD)的精細度及解析度，習知以提高開口率的方法來達到上述目的。此方法是藉由將透明的平坦化膜(planarization?film)作為保護膜并設置于薄膜電晶體管(thin-film?transistor,TFT)的上部，藉此使資料線與像素電極可重疊，而實現了比習知技術更高的開口率。

一般而言，作為平坦化膜的材料需要兼具高耐熱性、高透明性以及高介電常數的材料。日本特開平第7-98502號揭露一種含有酚醛樹脂(Novolac?resin)與醌二疊氮化合物(quinone?diazide?compound)的組合物。日本特開平第10-153854號及日本特開第2001-281853號揭露一種含有丙烯酸系樹脂(Acrylic?resins)及醌二疊氮化合物的組合物。但是，這些材料的耐熱性不夠，由于基板的高溫處理而固化膜著色，而存在透明性降低的問題。

另一方面，習知以硅氧烷聚合物作為高耐熱性、高透明性以及高介電常數的材料。為了賦予硅氧烷聚合物的感光性而組合了醌二疊氮化合物。舉例而言，美國專利申請公開第2003-211407號揭露一種將末端具有酚性羥基的硅氧烷聚合物與醌二疊氮化合物組合的組合物；日本特開平第3-59667號揭露一種透過環化加成反應(cycloaddition?reaction)而加成的酚性羥基或羧基等的硅氧烷聚合物與醌二疊氮化合物組合的組合物。然而，上述組合物因存在大量的醌二疊氮化合物或者在硅氧烷聚合物中存在酚性羥基而容易發生涂膜白化或熱固化時著色等問題。更值得一提的是，上述習知的組合物皆存在斷面形狀不佳的問題，因此不利于應用。

于是，亟需發展一種感光性組合物，其所形成的保護膜具有良好的斷面形狀。

發明內容

有鑒于此，本發明提供一種用于保護膜的感光性聚硅氧烷組合物，其能夠改善上述保護膜的斷面形狀不佳的問題。

本發明提供一種感光性聚硅氧烷組合物，其包括聚硅氧烷(A)、鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)、含酰胺酸基的硅烷化合物(C)以及溶劑(D)。聚硅氧烷(A)是由式(1)所示的化合物聚縮合來形成，

Si(R¹)_W(OR²)_4-W

式(1)

式(1)中，R¹各自獨立表示氫原子、碳數為1至10的烷基、碳數為2至10的烯基、碳數為6至15的芳香基、含有酸酐基的烷基、含有環氧基的烷基或含有環氧基的烷氧基；R²各自獨立表示氫原子、碳數為1至6的烷基、碳數為1至6的酰基或碳數為6至15的芳香基；w表示選自0、1、2、3的整數。

含酰胺酸基的硅烷化合物(C)是由式(2)來表示

式(2)中，R³及R^3’各自獨立表示碳數為1至6的烷基、經取代的碳數為1至6的烷基、碳數為1至6的烷氧基、經取代的碳數為1至6的烷氧基、苯基、經取代的苯基、苯氧基或經取代的苯氧基；R⁴及R^4’各自獨立表示碳數為1至10的二價有機基；R⁵表示碳數為2至20的有機基。

在本發明的一實施例中，于式(1)中，R¹至少一者為含有酸酐基的烷基、含有環氧基的烷基或含有環氧基的烷氧基。

在本發明的一實施例中，基于聚硅氧烷(A)的使用量為100重量份，鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)的使用量為1至30重量份，含酰胺酸基的硅烷化合物(C)的使用量為0.1至10重量份，并且溶劑(D)的使用量為100至1200重量份。

在本發明的一實施例中，上述的感光性聚硅氧烷組合物，更包括含氮的雜環化合物(E)，含氮的雜環化合物(E)選自由式(3)、式(4)、式(5)及式(6)表示的化合物所組成的族群，