[發明專利]一種基板及用于對其進行退火的退火方法、退火設備

有效

• 申請號: 201510069959.5
• 申請日: 2015-02-10
• 公開（公告）號: CN104617113B
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發明（設計）人: 秦緯
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L21/324;H01L21/67
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種基板，包括襯底基板和位于所述襯底基板上的柵線和薄膜晶體管，所述薄膜晶體管的有源層的材質為氧化物半導體，所述薄膜晶體管的柵極電連接所述柵線，其特征在于，所述基板還包括至少一個柵極信號輸入端子，所述柵極信號輸入端子在所述基板進行退火時電連接所述柵線，并向所述柵極信號輸入端子輸入柵極信號，使所述薄膜晶體管的有源層中的缺陷向有源層與柵極絕緣層之間的界面處移動。

2.根據權利要求1所述的基板，其特征在于，所述基板包括一個所述柵極信號輸入端子及一條柵線總線，所述柵極信號輸入端子通過所述柵線總線電連接所有所述柵線。

3.根據權利要求1所述的基板，其特征在于，所述基板包括至少兩個所述柵極信號輸入端子及至少兩條柵線總線，每個所述柵極信號輸入端子通過一條所述柵線總線電連接一部分所述柵線。

4.根據權利要求1所述的基板，其特征在于，一個所述柵極信號輸入端子電連接一條所述柵線。

5.根據權利要求1所述的基板，其特征在于，所述柵極信號輸入端子位于所述基板的周邊區域。

6.根據權利要求1-5任一項所述的基板，其特征在于，所述基板還包括位于所述襯底基板上的數據信號輸入端子、數據總線和數據線，所述數據信號輸入端子通過所述數據總線電連接所述數據線，所述數據線電連接所述薄膜晶體管的源極。

7.一種用于對如權利要求1-6中任一項所述基板進行退火的退火方法，其特征在于，包括：

在對所述基板進行退火的同時，向所述柵極信號輸入端子輸入柵極信號，并使所述薄膜晶體管的有源層中的缺陷向有源層與柵極絕緣層之間的界面處移動。

8.根據權利要求7所述的退火方法，其特征在于，

所述柵極信號包括正電壓和負電壓。

9.根據權利要求7所述的退火方法，其特征在于，向不同的所述柵極信號輸入端子輸入不同的柵極信號。

10.根據權利要求7所述的退火方法，其特征在于，在對所述基板進行退火的同時，向數據信號輸入端子輸入數據信號。

11.一種用于對如權利要求1-6中任一項所述基板進行退火的退火設備，其特征在于，包括至少一個柵極信號輸出端子，所述柵極信號輸出端子用于電連接所述基板上的所述柵極信號輸入端子，并在對所述基板進行退火時，向所述柵極信號輸入端子輸入柵極信號，使所述薄膜晶體管的有源層中的缺陷向有源層與柵極絕緣層之間的界面處移動。

12.根據權利要求11所述的退火設備，其特征在于，還包括至少一個數據信號輸出端子，所述數據信號輸出端子用于電連接所述基板上的所述數據信號輸入端子。