[發明專利]三通閥和進氣系統

有效

• 申請號: 201510069605.0
• 申請日: 2015-02-10
• 公開（公告）號: CN104847922B
• 公開（公告）日: 2018-11-16
• 發明（設計）人: 早坂秀樹;鈴木邦重
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: F16K11/044
• 分類號: F16K11/044;F16K27/02;F16K37/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

本發明提供一種三通閥和進氣系統，其能夠在抑制流路的開閉性能惡化的同時調整流體的流入量。三通閥(10)具備：閥體(11)，其具備與第1端口(11a)對置的第2端口(11b)和第1端口與第2端口之間的第3端口(11c)；和開閉構件(12)，其使第1端口和第2端口以切換的方式開閉，其中，開閉構件由下述部分構成：可封閉第1端口或第2端口的面積的板狀的封閉板(12a)；和使封閉板在第1端口與第2端口之間往返的板移動部(12b)，在第1端口或第2端口上具備用于調整端口的開口面積的調整部(13)。

技術領域

本發明涉及三通閥，特別是涉及切換空氣等流體的流路的三通閥和使用該三通閥的進氣系統。

背景技術

以往，已知這樣的三通閥，其配設在與進氣源連接的配管上，用于切換在配管中流動的流體的流路。例如，在專利文獻1中，提出了下述這樣的三通閥，所述三通閥具備：由中空橢圓柱狀的彈性體構成的閥芯；和形成有將該閥芯收納成能夠旋轉的橢圓柱狀的空洞的閥室，通過使閥芯在閥室內不晃動地旋轉滑動，由此切換2個出口端口的開閉狀態。另外，在專利文獻2中，提出了下述這樣的三通閥：在兩側設有閥孔的閥室內收納有一對閥芯和凸輪，所述一對閥芯以交替地開閉閥孔的方式一體地移動，所述凸輪選擇性地將這些閥芯推壓至閉閥位置，隨著開閉軸的轉動，利用凸輪選擇性地將閥芯推壓至閉閥位置。

專利文獻1：日本特開2013-57352號公報

專利文獻2：日本特開2009-299736號公報

可是，在上述的專利文獻1所述的三通閥中，閥芯具有相對于閥室的一部分滑動的部分。另一方面，在上述的專利文獻2所述的三通閥中，凸輪的一部分具有相對于閥芯滑動的部分。在像這些在驅動閥芯的結構中包含滑動的部分的情況下，由于該滑動部分發生磨損而可能發生流路的開閉性能惡化的情況。

為了防止這樣的滑動部分的磨損，可以考慮涂敷潤滑油等。可是，在這種情況下，可能會發生潤滑油的一部分泄漏到配管內的情況。潤滑油的泄漏會成為具備三通閥的裝置閥體中的不良情況的原因。例如，如后述那樣，在將三通閥應用于對加工臺的表面進行抽吸的進氣系統中的情況下，可能會發生油分附著于加工臺上的加工對象上這樣的情況。

另外，將上述的三通閥例如應用于這樣的進氣系統：利用分支管使單一的進氣源分支，對配置在多個部位的加工臺上的異物等進行抽吸。在這樣的進氣系統中，通過使用三通閥來切換分支管內的流路，能夠對抽吸異物等的加工臺進行切換。

在這樣的進氣系統中，優選的是，與分支管內的流路的狀態無關地將對加工臺的抽吸力維持得固定。例如，還可以想象到這樣的情況：在對特定的加工臺的抽吸力對應于分支管內的流路的狀態發生變動的情況下，抽吸力脫離規定的范圍而對不必要的構成部件進行抽吸。因此，在這樣的進氣系統中，為了將抽吸部的抽吸力維持得固定，要求能夠調整流體的流入量的三通閥。

發明內容

本發明是鑒于這樣的問題而完成的，目的在于提供一種能夠在抑制流路的開閉性能惡化的同時調整流體的流入量的三通閥和使用該三通閥的進氣系統。

本發明的三通閥具備：閥體，其具備與第1端口對置的第2端口、和第1端口與第2端口之間的第3端口；和開閉構件，其使第1端口和第2端口以切換的方式開閉，所述三通閥的特征在于，開閉構件至少由下述部件構成：面積為能夠封閉第1端口或第2端口的板狀的封閉板；和使封閉板在第1端口與第2端口之間往返的板移動部，在第1端口或第2端口上具備用于調整端口的開口面積的調整部。