[發(fā)明專利]一種金屬熱界面材料的制備裝置及方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510068006.7 | 申請日： | 2015-02-09 |
| 公開（公告）號： | CN105990279B | 公開（公告）日： | 2018-07-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王磊;劉靜 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所 |
| 主分類號： | H01L23/373 | 分類號： | H01L23/373;B01J19/08;C09K5/12 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100190 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 金屬 界面 材料 制備 裝置 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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