[發明專利]表面處理裝置及工件保持夾具

有效

• 申請號: 201510065740.8
• 申請日: 2012-06-29
• 公開（公告）號: CN104674328B
• 公開（公告）日: 2017-09-01
• 發明（設計）人: 野田朝裕;渡邊重幸;石井勝己
• 申請（專利權）人: ALMEXPE株式會社
• 主分類號: C25D17/00
• 分類號: C25D17/00;C25D17/08
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 朱美紅,李婷

1.一種工件保持夾具，是將薄板狀的矩形工件在處理槽內的液體中以垂直狀態保持并連續輸送、并且將上述工件設定為陰極的工件保持夾具，其特征在于，具有：

框狀部件，包圍上述矩形工件而配置；

導電性的多個第1卡盤部件，支承在上述框狀部件上，把持上述矩形工件的上邊；

導電性的多個第2卡盤部件，與上述多個第1卡盤部件電絕緣，支承在上述框狀部件上，把持上述矩形工件的下邊；

第1通電部，對上述多個第1卡盤部件通電；

第2通電部，對上述多個第2卡盤部件通電。

2.如權利要求1所述的工件保持夾具，其特征在于，

上述框狀部件包括：

導電性的上框部件，支承上述多個第1卡盤部件；

導電性的下框部件，支承上述多個第2卡盤部件；

兩個絕緣部件，設在上述上框部件的兩端部上；

導電性的兩個縱框部件，上端部支承在上述兩個絕緣部件上，下端部連結在上述下框部件的兩端部上；

上述第1通電部對上述上框部件通電；

上述第2通電部對上述兩個縱框部件通電。

3.如權利要求2所述的工件保持夾具，其特征在于，

還具有經由上述第1通電部的一部分支承上述框狀部件、向上述第1及第2通電部通電的共通通電部。

4.如權利要求3所述的工件保持夾具，其特征在于，

上述第1通電部具有：

絕緣部，固定在上述共通通電部上；

導電性的連結部，將上述絕緣部與上述上框部件連結；

至少一個上框通電電纜，將上述共通通電部與上述連結部連接；

上述第2通電部具有將上述共通通電部與上述兩個縱框部件連接的第1及第2縱框通電電纜。

5.如權利要求4所述的工件保持夾具，其特征在于，

上述連結部包括：

第1垂直臂部及第2垂直臂部，將上述絕緣部與上述上框部件連結；

第1突出部，比上述第1垂直臂部突出；

第2突出部，比上述第2垂直臂部突出；

上述至少一個上框通電電纜包括將上述共通通電部與上述第1突出部連接的第1上框通電電纜、和將上述共通通電部與上述第2突出部連接的第2上框通電電纜。

6.如權利要求3～5的任一項所述的工件保持夾具，其特征在于，

將從上述共通通電部向上述上框部件流動的電流路徑的電阻值、與從上述共通通電部向上述下框部件流動的電流路徑的電阻值設定為實質上相同。

7.如權利要求5所述的工件保持夾具，其特征在于，

上述兩個絕緣部件分別具有將上述兩個縱框部件的各一個上端部在垂直方向上滑動導引的導引部。

8.如權利要求7所述的工件保持夾具，其特征在于，

還具有將被上述導引部滑動導引的上述兩個縱框部件的各一個向下方移動施力的施力部件。

9.如權利要求8所述的工件保持夾具，其特征在于，

上述施力部件的下端固定在被上述導引部滑動導引的上述兩個縱框部件的各一個上；

上述施力部件的上端固定在支承于上述兩個絕緣部件的各一個上的導電性的固定部件上；

上述第1、第2縱框通電電纜的各一個連接在上述固定部件上。

10.一種表面處理裝置，其特征在于，

具有：

表面處理槽，收容處理液，具有上端開口；

權利要求1～9的任一項所述的工件保持夾具，將浸漬在上述表面處理槽的上述處理液中的工件垂下保持并連續輸送，并且將上述工件設定為陰極；

陽極電極，在上述表面處理槽內配置在與上述工件對置的位置上。