[發(fā)明專利]一種透鏡組條形象散光束實時整形與低階像差補償系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510065314.4
• 申請日: 2015-02-06
• 公開（公告）號: CN104678556A
• 公開（公告）日: 2015-06-03
• 發(fā)明（設計）人: 彭欽軍;薛正偉;徐一汀;郭亞丁;許家林;徐健;王保山;申玉;陳中正;李帥
• 申請（專利權）人: 中國科學院理化技術研究所
• 主分類號: G02B27/09
• 分類號: G02B27/09;G02B27/64
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權代理有限公司 11002
• 代理人: 李相雨

1.一種透鏡組條形象散光束實時整形與低階像差補償系統(tǒng)，其特征在于，包括：條形激光束產(chǎn)生元件、條形象散光束實時整形與低階像差補償元件、分光鏡、光束質(zhì)量探測元件、系統(tǒng)控制元件；

其中，所述條形激光束產(chǎn)生元件，用于發(fā)出條形光束，條形光束依次通過所述條形象散光束實時整形與低階像差補償元件；

所述條形象散光束實時整形與低階像差補償元件，用于對入射條形光束相互垂直的兩個方向進行實時整形和低階像差補償，將輸出光束整形為預定大小，準直的方形激光束；

所述分光鏡，用于對整形后的光束進行分束，反射部分作為主激光輸出，透射部分作為采樣信號激光入射到所述光束質(zhì)量探測元件；

所述光束質(zhì)量探測元件，用于對所述透射采樣信號激光進行探測，測量透射激光束的光束質(zhì)量；

所述系統(tǒng)控制元件，用于通過數(shù)據(jù)采集卡和數(shù)據(jù)線與所述光束質(zhì)量探測元件相連接，實時接收測量得到的光束質(zhì)量數(shù)據(jù)。

2.如權利要求1所述的一種透鏡組條形象散光束實時整形與低階像差補償系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)控制元件，還用于利用隨機優(yōu)化算法對光束質(zhì)量進行計算，得到控制所述條形象散光束實時整形與低階像差補償元件的驅動信號。

3.如權利要求1所述的一種透鏡組條形象散光束實時整形與低階像差補償系統(tǒng)，其特征在于，所述條形象散光束實時整形與低階像差補償元件，還用于通過數(shù)據(jù)線與所述系統(tǒng)控制元件的輸出端相連接，接收驅動信號，調(diào)節(jié)所述條形象散光束實時整形與低階像差補償元件間的相對位置，完成對條形象散光束的實時整形與低階像差補償。

4.如權利要求1所述的一種透鏡組條形象散光束實時整形與低階像差補償系統(tǒng)，其特征在于，所述條形象散光束實時整形與低階像差補償元件包括：條形象散光束整形與低階像差補償光學元件以及象散調(diào)整運動元件。

5.如權利要求1所述的一種透鏡組條形象散光束實時整形與低階像差補償系統(tǒng)，其特征在于，所述條形象散光束整形與低階像差補償光學元件為透鏡，所述條形象散光束整形與低階像差補償光學元件用于控制條形象散光束相互垂直方向的個數(shù)均不少于三個。

6.如權利要求4或5所述的一種透鏡組條形象散光束實時整形與低階像差補償系統(tǒng)，其特征在于，所述條形象散光束整形與低階像差補償光學元件所使用的材料為入射激光高透過率低吸收率的透明材料，其中，所述條形象散光束整形與低階像差補償光學元件的兩個光學面均鍍有針對入射激光的高透過率膜。

7.如權利要求4所述的一種透鏡組條形象散光束實時整形與低階像差補償系統(tǒng)，其特征在于，所述象散調(diào)整運動元件為多子同軸直線電機或步進電機。

8.如權利要求4-7任一項所述的一種透鏡組條形象散光束實時整形與低階像差補償系統(tǒng)，其特征在于，所述條形象散光束整形與低階像差補償光學元件和所述象散調(diào)整運動元件的連接方式為直接光膠或通過鏡架連接，連接處選擇與鏡片熱膨脹系數(shù)相同的材料。

9.如權利要求1所述的一種透鏡組條形象散光束實時整形與低階像差補償系統(tǒng)，其特征在于，所述條形象散光束實時整形與低階像差補償元件中的透鏡沿系統(tǒng)光軸方向平移和/或沿系統(tǒng)光軸方向旋轉，其中，所述條形象散光束實時整形與低階像差補償元件中的透鏡沿系統(tǒng)光軸方向平移和/或沿系統(tǒng)光軸方向旋轉均為實時自動控制調(diào)整方式。

10.如權利要求1所述的一種透鏡組條形象散光束實時整形與低階像差補償系統(tǒng)，其特征在于，所述光束質(zhì)量探測元件為遠場光斑能量探測儀或Shack-Hartmann波前探測儀或剪切波前干涉儀。