[發明專利]表面處理裝置及工件保持夾具

有效

• 申請號: 201510065136.5
• 申請日: 2012-06-29
• 公開（公告）號: CN104532331B
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發明（設計）人: 野田朝裕;渡邊重幸;石井勝己
• 申請（專利權）人: ALMEXPE株式會社
• 主分類號: C25D17/08
• 分類號: C25D17/08;C25D17/28
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 朱美紅,李婷

本申請是發明名稱為“表面處理裝置及工件保持夾具”、申請日為2012年06月29日并且申請號為201210220405.7的發明專利申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及連續電鍍裝置等表面處理裝置及工件保持夾具。

背景技術

作為表面處理裝置、例如將工件表面電鍍處理的電解電鍍處理裝置，已知有在電鍍槽內將電路基板等工件連續輸送的連續電鍍處理裝置。工件由被沿著供電軌道輸送的輸送夾具垂下保持，一邊被從供電軌道經由輸送夾具供電一邊在電鍍槽內被連續輸送。在電鍍槽中，在作為陰極的工件的輸送路徑的兩側配置陽極，在陰極－陽極間形成電場，將電鍍液電分解，將工件表面電鍍。

這里，已知有代替在電鍍槽的上方配置供電軌道的構造（專利文獻1）而在從電鍍槽的上方離開的位置上與電鍍槽的長度方向平行地延伸設置供電軌道的構造（專利文獻2）。這樣，在能夠防止當輸送夾具在供電軌道上滑動時產生的粉塵落下混入到電鍍槽內這一點上較好。

在連續電鍍裝置等表面處理裝置中，用工件保持夾具將工件垂下保持，在表面處理槽內的液體中將工件連續輸送。工件保持夾具例如如專利文獻3所示，一般是將工件的上端夾緊而將工件垂下保持。

此外，工件保持夾具的另一功能在于相對于配置在表面處理槽內的陽極（正極）將工件設定為陰極（負極）。在陰極－陽極間形成電場，將電鍍液電分解，將工件表面電鍍。為此，將工件的上端夾緊的卡盤部件由導電性部件形成，經由工件保持夾具將工件設定為陰極。

專利文獻1：特許第3025254號公報

專利文獻2：特許第3591721號公報

專利文獻3：特開2009－132956號公報

如果如專利文獻2那樣將供電軌道配置到從電鍍槽的上方離開的位置上，則與如專利文獻1那樣將輸送夾具及工件垂下穩定支承在供電軌道的正下方的形態不同。由此，輸送夾具及工件的重心從通過供電軌道的垂線上離開，所以在輸送夾具上作用不需要的力矩。

由此，專利文獻2中公開的輸送夾具為了抑制因不需要的力矩帶來的危害，成為比專利文獻1中公開的夾具復雜的構造。例如在專利文獻2中，在供電軌道的側面上，設置用來防止輸送夾具的脫落的脫開防止軌道，供電軌道的構造也復雜化。

當保持在輸送夾具上的工件在液體中行進時，如果在俯視中工件的姿勢傾斜以相對于輸送方向交叉，則有可能受到液體的阻力而工件彎曲、損害商品價值。此外，當保持在輸送夾具上的工件在液體中行進時，如果輸送夾具上下運動，則供電軌道與輸送夾具的電氣接觸成為不良，電鍍品質也有可能劣化。為了防止這樣的狀況，使輸送夾具的行進穩定化的構造復雜化。

此外，如專利文獻3那樣，判明僅通過在工件的上端確保通電路線，在確保工件的表面處理的面內均勻性方面存在極限。

發明內容

本發明的一些形態提供一種將沿著配置在從表面處理槽的上方離開的位置上的軌道輸送的輸送夾具的構造改良、能夠很穩定地支承輸送夾具的表面處理裝置。

本發明的另一些發明提供一種即使是很薄的工件、也能夠不因液壓等使工件損壞而進行輸送的工件保持夾具。

本發明的再另一些形態提供一種與導軌另外地設置供電軌道、能夠使被供電軌道供電的被供電部與輸送夾具的輸送狀態獨立地總是以適度的接觸壓力與供電軌道接觸的表面處理裝置。

本發明的再另一些形態的目的是提供一種能夠實現使工件的電流分布的面內均勻性提高、進一步提高工件的表面處理品質的改善的工件保持夾具及表面處理裝置。

（1）本發明的一形態，關于一種表面處理裝置，具有：表面處理槽，收容處理液，具有上端開口；第1、第2導軌，在從上述表面處理槽的上述上端開口的上方離開的位置處，沿著與上述表面處理槽的長度方向平行的第1方向延伸設置；多個輸送夾具，配置在上述表面處理槽的上述處理液中，分別保持工件，支承在上述第1、第2導軌上；上述多個輸送夾具分別具有：水平臂部，沿著與上述第1方向交叉的第2方向延伸；第1被導引部，支承在上述水平臂部的一端側，被上述第1導軌導引；第2被導引部，支承在上述水平臂部的另一端側，被上述第2導軌導引；垂直臂部，在上述第1被導引部與上述第2被導引部之間的位置處從上述水平臂部垂下，保持上述工件。