[發(fā)明專利]一種晶體吸盤裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510064288.3
• 申請(qǐng)日: 2015-02-09
• 公開（公告）號(hào): CN104675840A
• 公開（公告）日: 2015-06-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 章仁上
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 德清晶生光電科技有限公司
• 主分類號(hào): F16B47/00
• 分類號(hào): F16B47/00
• 代理公司: 北京方圓嘉禾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11385
• 代理人: 董芙蓉

1.一種晶體吸盤裝置，其特征在于：包括吸盤體（1）、吸孔（2）、導(dǎo)氣槽（3）及環(huán)形吸槽（4），其中，上述吸盤體（1）為圓柱體結(jié)構(gòu)，吸孔（2）設(shè)置在吸盤體（1）上，并貫穿吸盤體（1）；上述環(huán)形槽（4）包括至少二個(gè)，各環(huán)形槽（4）間隔設(shè)置在吸盤體（1）的頂面，并向下凹陷，形成晶體吸附面，以便吸附晶體；上述導(dǎo)氣槽（3）設(shè)置在吸盤體（1）的頂面，導(dǎo)氣槽（3）連接吸孔（2）及環(huán)形吸槽（4），吸孔（2）連接外設(shè)的真空發(fā)生器及氣泵，以便將吸附面上的空氣走，形成負(fù)壓。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶體吸盤裝置，其特征在于：所述的吸孔（2）設(shè)置在吸盤體（1）的中央位置，與吸盤體（1）同軸心。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶體吸盤裝置，其特征在于：所述的導(dǎo)氣槽（3）由相互垂直的兩個(gè)長條狀槽體交叉形成為十字形槽體，導(dǎo)氣槽（3）的交叉點(diǎn)與吸孔（2）重疊，使吸孔（2）與導(dǎo)氣槽（3）連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶體吸盤裝置，其特征在于：所述的環(huán)形吸槽（4）包括至少二個(gè)，各環(huán)形吸槽（4）沿吸盤體（1）的徑向方向，由內(nèi)而外依此間隔設(shè)置，且同圓心。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶體吸盤裝置，其特征在于：所述的導(dǎo)氣槽（3）的兩個(gè)長條狀槽體向兩側(cè)延伸至外側(cè)的環(huán)形槽體（4）內(nèi)，以便使各環(huán)形槽體（4）與吸孔（2）連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的一種晶體吸盤裝置，其特征在于：所述的吸孔（2）的兩端分別延伸至吸盤體（1）的頂面及底面，吸孔（2）的底端設(shè)有接氣管（5），接氣管（5）的上端與吸孔（2）連接，下端連接有氣管，氣管連接在外設(shè)的真空發(fā)生器及氣泵。