[發明專利]一種高導電率低反射率金屬網格的模具制備方法及其模具

有效

• 申請號: 201510062816.1
• 申請日: 2015-02-06
• 公開（公告）號: CN104571717B
• 公開（公告）日: 2018-01-26
• 發明（設計）人: 林杰;侯則良;王維綱
• 申請（專利權）人: 福建省諾希科技園發展有限公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 福州市鼓樓區鼎興專利代理事務所(普通合伙)35217
• 代理人: 傅契克

技術領域

本發明屬于觸摸面板材料領域，尤其是一種高導電率低反射率金屬網格的模具制備方法及其模具。

背景技術

未來移動終端、可穿戴設備、智能家電等產品，對觸摸面板有著強勁需求，同時隨著觸控面板大尺寸化、低價化，以及傳統ITO薄膜不能用于可彎曲應用，導電性及透光率等本質問題不易克服等因素，眾面板廠商紛紛開始研究ITO的替代品，包括納米銀線、金屬網格、納米碳管以及石墨烯等材料。其中，金屬網格因具有成本最低、導電性能良好的特性，在市場中的應用也最為廣泛。

現有的金屬網格（Metal Mesh）模具的制備方法為：（1）在透明基材上涂布塑膠薄膜，再在塑膠薄膜的上表面印刷具有適當線寬的導電金屬網格圖案；（2）按照導電金屬網格圖案對塑膠薄膜進行壓印，向下壓至透明基材處，在塑膠薄膜上形成金屬網格凹槽，這種上面帶有金屬網格凹槽的透明基材即為金屬網格模具。在使用過程中，只要向金屬網格凹槽內鍍滿金、銀、銅、鋁等低電阻值金屬材料，再將塑膠薄膜全部剝離，就可制得金屬網格。采用上述生產工藝制得的金屬網格模具制得的金屬網格的理論最低電阻值可達到0.1歐姆/平方英寸，而且，具有良好的電磁干擾屏蔽效果。但是，受限于印刷制作的工藝水平，并且，金屬網格溝槽的寬度完全靠印刷的電路線線寬以及壓印力度進行模糊控制，其所制得的金屬網格模具上的金屬網格凹槽較寬，即對應的金屬網格線寬較粗，使得所制得的金屬網格的線寬一般在50微米以上（根據人眼的生理構造，當線寬為41~72微米時，線條模糊；當線寬為40微米以下時，人眼不可辨別），金屬網格凹槽越寬，金屬網格線寬越粗，金屬網格的導電率越高，但是，金屬網格與透明基材的接觸面也越大，其反射率也越高，導致在高像素下的莫瑞干涉波紋就越明顯。莫瑞干涉指數碼產品顯示屏中像素，光學膜片以及觸控導電的金屬圖案，在水平和垂直方向上，規則對齊的像素和物體的精細規則圖案重疊式稍有偏差，則會出現的干擾波紋圖案，即在某些角落可以看到屏幕上有細線跑出來。

發明內容

本發明旨在提供一種高導電率低反射率金屬網格的模具制備方法及其模具，該模具制作方法制備工藝簡單、易于操作，用其可制備出線寬低于40微米的金屬網格，并且，用其制備的金屬網格上寬下窄，兼具高導電率低反射率的雙重優良特性。

一種高導電率低反射率金屬網格的模具制備方法，包括以下步驟：

（1）在透明基材上涂布光阻層，光阻層厚度為20~60微米，光阻層為兩層蝕刻速率不同的光阻層疊加而成；且，上層光阻層所選用的光阻材料的電漿蝕刻速率大于下層光阻層所選用的光阻材料的電漿蝕刻速率；

（2）采用底部帶有電路圖案凸起的壓印模板對光阻層進行壓印，拔出壓印模板后，在光阻層內形成電路圖案溝槽；

（3）對壓印后的光阻層進行電漿蝕刻，露出透明基材，其中，電漿蝕刻條件為：電漿功率為2000~3000W，蝕刻時間為2~30分鐘，在透明基材上形成上寬下窄的金屬網格溝槽，制得金屬網格模具。

在使用過程中，只要向金屬網格凹槽內鍍滿金、銀、銅、鋁等低電阻值金屬材料，再采用光阻剝離液將光阻層溶出，就可制得金屬網格。

本發明的有益技術效果為：

（1）本發明采用涂布光阻層、壓印、蝕刻的加工工藝，不受印刷水平的影響，能夠做出更為精細的電路圖案溝槽；

（2）由于本發明的光阻層為兩層蝕刻速率不同的光阻層疊加而成，且，上層光阻層所選用的光阻材料的電漿蝕刻速率大于下層光阻層所選用的光阻材料的電漿蝕刻速率，使得，采用同等電漿蝕刻條件進行蝕刻時，可制得上寬下窄的金屬網格槽，該金屬網格槽的底部寬度窄，所制得金屬網格的與透明基材接觸的位置處線寬窄，可盡量降低其反射率，避免出現莫瑞干涉波紋；金屬網格槽的開口寬度寬，所制得金屬網格的遠離透明基材的區域線寬較大，又可盡量維持較高的導電率；

（3）本發明通過對電阻層厚度和電漿蝕刻條件進行限定，使得，所獲得的金屬網格凹槽寬度控制在適當的水平，用其制備金屬網格時，所獲得的金屬網格平均線寬可保持在7~20微米，遠遠低于人眼所識別的線寬界限—40微米；

（4）本發明的金屬網格模具制備工藝簡單，易于操作和對產品質量進行控制，且不易出現金屬網格斷線的問題。