[發明專利]聲表面波溫度傳感器有效
| 申請號： | 201510062494.0 | 申請日： | 2015-02-05 |
| 公開（公告）號： | CN104677518B | 公開（公告）日： | 2018-02-13 |
| 發明（設計）人： | 周磊;李冬梅;梁圣法;謝常青;劉明 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | G01K11/22 | 分類號： | G01K11/22 |
| 代理公司： | 北京藍智輝煌知識產權代理事務所(普通合伙)11345 | 代理人： | 陳紅 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 表面波 溫度傳感器 | ||
1.一種聲表面波溫度傳感器，包括壓電陶瓷襯底、反射柵和叉指換能器，其特征在于：所述叉指換能器采用了切比雪夫窗函數作為加權函數的變跡加權設計，反射柵的側壁為凹型。
2.如權利要求1的聲表面波溫度傳感器，其中，壓電陶瓷襯底材料為鈮酸鋰、鈦酸鉍鈉、鈦酸鉍鉀、鈮酸鉛鋇鈉、鈦酸鉍鋇、鋯鈦酸鉛、三硼酸鉍、鋯鈦酸鋇鈣、鉭酸鹽型鈣鈦礦氧化物的任意一種或其組合。
3.如權利要求1的聲表面波溫度傳感器，其中，壓電陶瓷襯底厚度為0.3～0.6mm。
4.如權利要求1的聲表面波溫度傳感器，其中，表面粗糙度RMS<＝2.0nm。
5.如權利要求1的聲表面波溫度傳感器，其中，反射柵和叉指換能器材料為金屬的單質、金屬的合金、金屬的導電性氮化物或導電性氧化物。
6.如權利要求5的聲表面波溫度傳感器，其中，所述金屬選自Al、Cu、Au、Ag、Ni、Pd、Pt、W、Ti、Ta、Mo、In、Zn、Zr的任意一種或其組合。
7.如權利要求1的聲表面波溫度傳感器，其中，反射柵和叉指換能器厚度為50～100nm。
8.如權利要求1的聲表面波溫度傳感器，其中，反射柵采用了開路型結構。
9.如權利要求1的聲表面波溫度傳感器，其中，器件采用單端口諧振器作為器件的原型結構。
10.如權利要求1的聲表面波溫度傳感器，其中，叉指換能器包括兩條沿第一方向分布的母線，以及沿第二方向從母線延伸的交錯的多個叉指，多個叉指的長度變化符合切比雪夫窗函數。
11.如權利要求10的聲表面波溫度傳感器，其中，從一條母線延伸的叉指對面具有從另一條母線延伸出的互補叉指，叉指與互補叉指之間具有間隙，互補叉指的長度變化和/或間隙的分布符合切比雪夫窗函數。
12.如權利要求10的聲表面波溫度傳感器，其中，叉指的總數目為30～150個。
13.如權利要求1的聲表面波溫度傳感器，其中，叉指的沿第一方向的間距為10～100微米。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院微電子研究所，未經中國科學院微電子研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201510062494.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
