[發明專利]曝光機自動更換濾波片裝置及曝光機在審
| 申請號: | 201510059956.3 | 申請日: | 2015-02-04 |
| 公開(公告)號: | CN104614834A | 公開(公告)日: | 2015-05-13 |
| 發明(設計)人: | 袁夏梁 | 申請(專利權)人: | 深圳市華星光電技術有限公司 |
| 主分類號: | G02B7/00 | 分類號: | G02B7/00;G03F7/20 |
| 代理公司: | 廣州三環專利代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝傳鑫;熊永強 |
| 地址: | 518132 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 曝光 自動 更換 濾波 裝置 | ||
技術領域
本發明涉及一種曝光機自動更換濾波片裝置及曝光機。
背景技術
液晶顯示裝置的TFT基板及CF基板在制作過程中需要進行多次曝光處理形成需要的圖層。現有技術中的通過曝光機進行曝光。在曝光制程中,根據光阻特性等不同因素需要更換濾光片,在更換過程中需要先對曝光機的光照燈進行熄燈,冷卻后再通過手動裝卸濾光片,如此操作步進浪費作業時間,而且熄燈次數較多,減少光照燈的使用壽命。
發明內容
本發明的目的在于提供一種節省作業時間的曝光機自動更換濾波片裝置及曝光機。
本發明提供一種曝光機自動更換濾波片裝置,用于裝夾至少一個濾光片,所述曝光機自動更換濾波片裝置包括支架、裝于支架的轉軸、驅動元件及至少一個夾爪,至少一個夾爪用于裝夾所述濾光片;所述轉軸外周緣相對應所述至少一個夾爪裝有延伸臂,所述至少一個夾爪裝于延伸臂上,所述驅動元件驅動所述轉軸帶動所述延伸臂轉動,進而帶動所述濾光片轉動。
其中,所述夾爪為四個,相應所述轉軸上裝設有四個延伸臂。
其中,所述驅動元件為驅動馬達。
其中,所述四個延伸臂呈十字形設置。
本發明還提供一種曝光機,其包括微透鏡陣列、多個濾光片及曝光機自動更換濾波片裝置,所述曝光機自動更換濾波片裝置包括支架、裝于支架的轉軸、驅動元件及至少一個夾爪,至少一個夾爪用于裝夾所述濾光片;所述轉軸外周緣相對應所述至少一個夾爪裝有延伸臂,所述至少一個夾爪裝于延伸臂上,所述曝光機自動更換濾波片裝置裝于所述微透鏡陣列的出光方向,所述夾爪上的濾光片與所述微透鏡陣列相對設置,所述驅動元件驅動所述轉軸帶動所述延伸臂轉動,進而帶動所述濾光片轉動,實現更換相對應所述微透鏡陣列的濾光片。
其中,所述驅動元件為驅動馬達。
其中,所述曝光機包括控制裝置、集光鏡、裝于所述集光鏡的光照燈、及反光鏡組,集光鏡用于聚光并通過反光鏡組傳遞光線,所述控制裝置用于控制所述微透鏡陣列、曝光機自動更換濾波片裝置、集光鏡及反光鏡組工作。
其中,所述集光鏡包括聚光面,所述聚光面上裝有光照燈,光照燈光線通過聚光面聚光及傳遞。
其中,所述反光鏡組包括第一反光鏡、第二反光鏡及第三反光鏡,所述第一反光鏡與所述聚光面相對,所述第二反光鏡接收所述第一反光鏡反射的光線并將光傳遞給所述第三反光鏡,所述第三反光鏡發射出曝光所用光線。
其中,所述曝光機包括控制裝置與所述微透鏡陣列位于所述第一反光鏡與所述第二反光鏡之間,并且所述曝光機的濾光片位于所述第二反光鏡與所述微透鏡陣列之間。
本發明所述的曝光機在工作工程中需要更換濾光片時,只需要驅動轉軸162帶動所述延伸臂轉動,進而帶動所述濾光片轉動,使所述需要的濾光片對準所述微透鏡陣列,實現自動更換濾波片,節省作業時間。
附圖說明
為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動的前提下,還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
圖1是本發明較佳實施例的曝光機的示意圖。
圖2是圖1所示的本發明的曝光機的自動更換濾波片裝置示意圖。
具體實施方式
下面將結合本發明實施例中的附圖,對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發明保護的范圍。
本發明佳實施方式提供一種曝光機及曝光機自動更換濾波片裝置。所述曝光機用于多CF基板或者TFT基板的圖形進行曝光。所述曝光機自動更換濾波片裝置用于自動更換濾光片,實現對用不同幾班的光阻及時更換濾波片。本實施例中以制造CF基板為例進行說明曝光機工作原理。
請參閱圖1與圖2,其中,圖一所示的標注II所指部分為曝光機自動更換濾波片裝置16(見圖2)的示意圖。所述曝光機包括裝在CF基板20的工作臺10、控制裝置(圖未示)、集光鏡12、反光鏡組(圖未標)、裝于集光鏡12的光照燈13、微透鏡陣列14、多個濾光片15及曝光機自動更換濾波片裝置16。所述集光鏡12用于聚光并通過反光鏡組傳遞光線。所述控制裝置用于控制所述微透鏡陣列14、曝光機自動更換濾波片裝置16、集光鏡12及反光鏡組工作。
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