[發(fā)明專利]一種等離子體源陽極冷卻結(jié)構(gòu)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510059014.5
• 申請(qǐng)日: 2015-02-05
• 公開（公告）號(hào): CN104602433A
• 公開（公告）日: 2015-05-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王鵬飛;黃佳華;王井楠;楊超;趙華;任瓊英;李向陽;李露
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都真火科技有限公司
• 主分類號(hào): H05H1/28
• 分類號(hào): H05H1/28
• 代理公司: 成都天嘉專利事務(wù)所(普通合伙) 51211
• 代理人: 冉鵬程

1.一種等離子體源陽極冷卻結(jié)構(gòu)，包括陽極本體（1），其特征在于：所述陽極本體（1）內(nèi)部設(shè)置有冷卻通道（2）；所述陽極本體（1）上設(shè)置有進(jìn)氣口（3）和出氣口（4）；所述進(jìn)氣口（3）和出氣口（4）分別與冷卻通道（2）連通；所述冷卻通道（2）上設(shè)置有冷卻結(jié)構(gòu)（21）。

2.如權(quán)利要求1所述的一種等離子體源陽極冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述冷卻結(jié)構(gòu)（21）為設(shè)置在陽極本體內(nèi)部的空腔；所述空腔分別與進(jìn)氣口（3）和出氣口（4）連通。

3.如權(quán)利要求1所述的一種等離子體源陽極冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述冷卻結(jié)構(gòu)（21）是由所述冷卻通道（2）環(huán)狀分布在陽極本體（1）內(nèi)部形成的冷卻結(jié)構(gòu)（21）。

4.如權(quán)利要求1所述的一種等離子體源陽極冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述冷卻結(jié)構(gòu)（21）是由所述冷卻通道（2）螺旋狀分布在陽極本體（1）內(nèi)部形成的冷卻結(jié)構(gòu)（21）。

5.如權(quán)利要求1或4所述的一種等離子體源陽極冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于：冷卻結(jié)構(gòu)（21）是由所述冷卻通道（21）呈豎直螺旋狀分布在陽極本體（1）內(nèi)部形成的冷卻結(jié)構(gòu)（21）。

6.如權(quán)利要求1或4所述的一種等離子體源陽極冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于：冷卻結(jié)構(gòu)（21）是由所述冷卻通道（21）呈水平螺旋狀分布在陽極本體（1）內(nèi)部形成的冷卻結(jié)構(gòu)（21）。

7.如權(quán)利要求1-4任意一項(xiàng)所述的一種等離子體源陽極冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述陽極本體（1）內(nèi)部至少設(shè)置有一層冷卻結(jié)構(gòu)（21）。