[發明專利]一種等離子體源陽極冷卻結構在審
| 申請號： | 201510059014.5 | 申請日： | 2015-02-05 |
| 公開（公告）號： | CN104602433A | 公開（公告）日： | 2015-05-06 |
| 發明（設計）人： | 王鵬飛;黃佳華;王井楠;楊超;趙華;任瓊英;李向陽;李露 | 申請（專利權）人： | 成都真火科技有限公司 |
| 主分類號： | H05H1/28 | 分類號： | H05H1/28 |
| 代理公司： | 成都天嘉專利事務所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 冉鵬程 |
| 地址： | 610016 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 等離子體 陽極 冷卻 結構 | ||
1.一種等離子體源陽極冷卻結構，包括陽極本體（1），其特征在于：所述陽極本體（1）內部設置有冷卻通道（2）；所述陽極本體（1）上設置有進氣口（3）和出氣口（4）；所述進氣口（3）和出氣口（4）分別與冷卻通道（2）連通；所述冷卻通道（2）上設置有冷卻結構（21）。
2.如權利要求1所述的一種等離子體源陽極冷卻結構，其特征在于：所述冷卻結構（21）為設置在陽極本體內部的空腔；所述空腔分別與進氣口（3）和出氣口（4）連通。
3.如權利要求1所述的一種等離子體源陽極冷卻結構，其特征在于：所述冷卻結構（21）是由所述冷卻通道（2）環狀分布在陽極本體（1）內部形成的冷卻結構（21）。
4.如權利要求1所述的一種等離子體源陽極冷卻結構，其特征在于：所述冷卻結構（21）是由所述冷卻通道（2）螺旋狀分布在陽極本體（1）內部形成的冷卻結構（21）。
5.如權利要求1或4所述的一種等離子體源陽極冷卻結構，其特征在于：冷卻結構（21）是由所述冷卻通道（21）呈豎直螺旋狀分布在陽極本體（1）內部形成的冷卻結構（21）。
6.如權利要求1或4所述的一種等離子體源陽極冷卻結構，其特征在于：冷卻結構（21）是由所述冷卻通道（21）呈水平螺旋狀分布在陽極本體（1）內部形成的冷卻結構（21）。
7.如權利要求1-4任意一項所述的一種等離子體源陽極冷卻結構，其特征在于：所述陽極本體（1）內部至少設置有一層冷卻結構（21）。
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