[發(fā)明專利]陽極自冷卻等離子體源

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510059012.6
• 申請日: 2015-02-05
• 公開（公告）號: CN104602432A
• 公開（公告）日: 2015-05-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃佳華;王鵬飛;王井楠;趙華;任瓊英;李向陽;李露
• 申請（專利權(quán)）人: 成都真火科技有限公司
• 主分類號: H05H1/28
• 分類號: H05H1/28
• 代理公司: 成都天嘉專利事務(wù)所(普通合伙) 51211
• 代理人: 冉鵬程

1.一種陽極自冷卻等離子體源，其特征在于：包括陰極（1）、陽極（2）和外殼（4），所述陰極（1）和陽極（2）分別固定設(shè)置在外殼（4）的兩端，陰極（1）、陽極（2）和外殼（4）組合形成氣流通道（7），所述陽極（2）內(nèi)部設(shè)置有冷卻通道（5），所述陽極（2）上設(shè)置有分別與冷卻通道（5）相通的進(jìn)氣口（9）和出氣口（10），所述冷卻通道（5）通過出氣口（10）與氣流通道（7）連通，所述氣流通道（7）與陽極（2）的電弧通道（6）連通，工作時，工作氣體依次經(jīng)冷卻通道（5）和氣流通道（7）后進(jìn)入電弧通道（6）。

2.如權(quán)利要求1所述的陽極自冷卻等離子體源，其特征在于：所述陰極（1）與陽極（2）之間固定設(shè)置有中間段（3），所述氣流通道（7）由陰極（1）、陽極（2）、中間段（3）和外殼（4）組合形成，所述中間段（3）內(nèi)部開設(shè)有過渡電弧通道（8），所述過渡電弧通道（8）的兩端分別與氣流通道（7）和陽極（2）的電弧通道（6）相通。

3.如權(quán)利要求2所述的陽極自冷卻等離子體源，其特征在于：所述中間段（3）上設(shè)置有與過渡電弧通道（8）相通的錐形口，所述陰極（1）的端部位于錐形口內(nèi)，且陰極（1）的端部與錐形口之間有間隙。

4.如權(quán)利要求2所述的陽極自冷卻等離子體源，其特征在于：所述陰極（1）與外殼（4）之間設(shè)置有絕緣體a（11），所述中間段（3）與陽極（2）之間設(shè)置有絕緣體b（12）。

5.如權(quán)利要求2或4所述的陽極自冷卻等離子體源，其特征在于：所述中間段（3）的數(shù)量至少為二個，且相鄰兩中間段（3）之間設(shè)置有絕緣體b（12）。

6.如權(quán)利要求1或2所述的陽極自冷卻等離子體源，其特征在于：所述外殼（4）為筒形，沿筒形外殼（4）軸心線方向的筒壁內(nèi)開設(shè)有進(jìn)氣通道（13），進(jìn)氣通道（13）與進(jìn)氣口（9）連通。

7.如權(quán)利要求1所述的陽極自冷卻等離子體源，其特征在于：所述冷卻通道（5）內(nèi)設(shè)置有冷卻結(jié)構(gòu)（14），所述冷卻結(jié)構(gòu)（14）是由所述冷卻通道（5）環(huán)狀分布在陽極（2）內(nèi)部形成的冷卻結(jié)構(gòu)（14）。

8.如權(quán)利要求1所述的陽極自冷卻等離子體源，其特征在于：所述冷卻通道（5）內(nèi)設(shè)置有冷卻結(jié)構(gòu)（14），所述冷卻結(jié)構(gòu)（14）是由所述冷卻通道（5）螺旋狀分布在陽極（2）內(nèi)部形成的冷卻結(jié)構(gòu)（14）。

9.如權(quán)利要求7或8所述的陽極自冷卻等離子體源，其特征在于：所述冷卻結(jié)構(gòu)（14）是由所述冷卻通道（5）呈豎直螺旋狀分布在陽極（2）內(nèi)部形成的冷卻結(jié)構(gòu)（14）。

10.如權(quán)利要求7或8所述的陽極自冷卻等離子體源，其特征在于：所述冷卻結(jié)構(gòu)（14）是由所述冷卻通道（5）呈水平螺旋狀分布在陽極（2）內(nèi)部形成的冷卻結(jié)構(gòu)（14）。