[發(fā)明專利]一種激光器在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510058201.1
• 申請(qǐng)日: 2015-02-04
• 公開（公告）號(hào): CN104677599B
• 公開（公告）日: 2017-04-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐亮;趙建科;段亞軒;李霞;周艷;陳永權(quán);劉峰;楊菲;張潔
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號(hào): G01M11/02
• 分類號(hào): G01M11/02
• 代理公司: 西安智邦專利商標(biāo)代理有限公司61211
• 代理人: 張倩

1.一種激光器在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：包括沿光路設(shè)置的主擴(kuò)束系統(tǒng)(1)和第一半透半反射鏡(2)，所述第一半透半反射鏡(2)的透射光路上設(shè)置有第一探測(cè)器(3)，所述第一半透半反射鏡(2)的反射光路上設(shè)置有第二半透半反射鏡(5)，

所述第二半透半反射鏡(5)的一個(gè)透射光路上依次設(shè)置有聚焦鏡(14)、第二反射鏡(15)、第二探測(cè)器(16)，所述第二半透半反射鏡(5)的另一個(gè)透射光路上設(shè)置有角反射鏡(4)，所述第二半透半反射鏡(5)的反射光路上設(shè)置有第三半透半反射鏡(6)；

所述第三半透半反射鏡(6)的透射光路上依次設(shè)置有第一擴(kuò)束器(7)、第一隔離器(8)和檢測(cè)激光器(9)，所述第三半透半反射鏡(6)的反射光路上依次設(shè)置有第一反射鏡(13)、第二擴(kuò)束器(12)、第二隔離器(11)和調(diào)試激光器(10)，所述主擴(kuò)束系統(tǒng)(1)的入射窗口與被測(cè)激光器的光腔(17)相對(duì)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：所述主擴(kuò)束系統(tǒng)(1)的放大倍數(shù)由被測(cè)激光器的光腔(17)的口徑和第一探測(cè)器(3)的尺寸確定。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光器在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：所述檢測(cè)激光器(9)為635nm激光器，所述調(diào)試激光器(10)為1064nm激光器。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光器在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：所述主擴(kuò)束系統(tǒng)(1)的放大倍數(shù)為10倍。