[發明專利]一種單晶金剛石連續波可調諧深紫外激光器有效
| 申請號: | 201510058116.5 | 申請日: | 2015-02-04 |
| 公開(公告)號: | CN104600552B | 公開(公告)日: | 2017-11-24 |
| 發明(設計)人: | 賈富強;劉沛;陳浩 | 申請(專利權)人: | 廈門大學 |
| 主分類號: | H01S3/094 | 分類號: | H01S3/094;H01S3/109;H01S3/16;H01S3/30;H01S3/082 |
| 代理公司: | 廈門南強之路專利事務所(普通合伙)35200 | 代理人: | 馬應森 |
| 地址: | 361005 *** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 金剛石 連續 調諧 深紫 激光器 | ||
1.一種單晶金剛石連續波可調諧深紫外激光器,其特征在于設有456nm單頻藍光激光器、橫模匹配透鏡、第1激光諧振腔鏡、第2激光諧振腔鏡、第3激光諧振腔鏡、第4激光諧振腔鏡、激光增益介質、倍頻晶體、光電二極管和PDH控制器;所述456nm單頻藍光激光器、橫模匹配透鏡、第1激光諧振腔鏡、倍頻晶體、第2激光諧振腔鏡從左至右依次設置在第一光軸上,所述第3激光諧振腔鏡、激光增益介質、第4激光諧振腔鏡從左至右依次設置在第二光軸上;所述光電二極管位于第1激光諧振腔鏡左后側,所述PDH控制器連接光電二極管和第4激光諧振腔鏡;第一光軸與第二光軸平行。
2.如權利要求1所述一種單晶金剛石連續波可調諧深紫外激光器,其特征在于所述第4激光諧振腔鏡采用壓電陶瓷構成的激光諧振腔鏡。
3.如權利要求1所述一種單晶金剛石連續波可調諧深紫外激光器,其特征在于所述第1激光諧振腔鏡、第2激光諧振腔鏡、第3激光諧振腔鏡和第4激光諧振腔鏡為一組反射鏡,構成拉曼諧振腔。
4.如權利要求1所述一種單晶金剛石連續波可調諧深紫外激光器,其特征在于所述第1激光諧振腔鏡左端面鍍制456nm處減反射膜,第1激光諧振腔鏡右端面鍍制480~530nm波長范圍內高反射膜、456nm處部分反射膜和220~260nm波長范圍內減反射膜。
5.如權利要求1所述一種單晶金剛石連續波可調諧深紫外激光器,其特征在于所述第2激光諧振腔鏡左端面鍍制450~530nnm高反射膜,220~260nm減反射膜,第2激光諧振腔鏡右端面鍍制220~260nm減反射膜。
6.如權利要求1所述一種單晶金剛石連續波可調諧深紫外激光器,其特征在于所述第3激光諧振腔鏡右端面鍍制450~530nm高反射膜。
7.如權利要求1所述一種單晶金剛石連續波可調諧深紫外激光器,其特征在于所述第4激光諧振腔鏡左端面鍍制450~530nm高反射膜。
8.如權利要求1所述一種單晶金剛石連續波可調諧深紫外激光器,其特征在于第4激光諧振腔鏡通過壓電陶瓷構成。
9.如權利要求1所述一種單晶金剛石連續波可調諧深紫外激光器,其特征在于所述激光增益介質采用CVD單晶金剛石,采用<110>方向的切割,泵浦光的偏振方向與<111>方向平行。
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