[發明專利]有機發光二極管器件及其制作方法和蒸鍍設備

有效

• 申請號: 201510057291.2
• 申請日: 2015-02-03
• 公開（公告）號: CN104617223B
• 公開（公告）日: 2017-12-08
• 發明（設計）人: 肖昂
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: H01L51/50
• 分類號: H01L51/50;H01L51/56
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產權代理有限公司11319
• 代理人: 蘇培華

1.一種蒸鍍設備，其特征在于，所述蒸鍍設備包括第一蒸鍍材料裝填腔、第一蒸鍍材料噴嘴、第一速率控制網板、第二蒸鍍材料裝填腔、第二蒸鍍材料噴嘴以及第二速率控制網板；

所述第一速率控制網板設置于連通的所述第一蒸鍍材料裝填腔與所述第一蒸鍍材料噴嘴之間，用于控制單位時間從所述第一蒸鍍材料裝填腔透過其到達所述第一蒸鍍材料噴嘴的第一蒸鍍材料的數量而控制所述第一蒸鍍材料的第一蒸鍍速率，包括相連的至少兩種蒸鍍速率不同的第一速率控制子網板；所述第一速率控制網板可以相對所述第一蒸鍍材料噴嘴移動，以切換與所述第一蒸鍍材料噴嘴對準的所述第一速率控制子網板的種類，不同種的第一速率控制子網板間隔交替排布，相同種的第一速率控制子網板之間的距離等于相鄰的所述第一蒸鍍材料噴嘴之間的距離；

所述第二速率控制網板設置于連通的所述第二蒸鍍材料裝填腔與所述第二蒸鍍材料噴嘴之間，用于控制單位時間從所述第二蒸鍍材料裝填腔透過其到達所述第二蒸鍍材料噴嘴的第二蒸鍍材料的數量而控制所述第二蒸鍍材料的第二蒸鍍速率，包括相連的至少兩種蒸鍍速率不同的第二速率控制子網板；所述第二速率控制網板可以相對所述第二蒸鍍材料噴嘴移動，以切換與所述第二蒸鍍材料噴嘴對準的所述第二速率控制子網板的種類，不同種的第二速率控制子網板間隔交替排布，相同種的第二速率控制子網板之間的距離等于相鄰的所述第二蒸鍍材料噴嘴之間的距離；

所述第二蒸鍍材料裝填腔與所述第一蒸鍍材料裝填腔不連通，所述第二蒸鍍材料噴嘴與所述第一蒸鍍材料噴嘴不連通。

2.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述不同種的第一速率控制子網板的開口密度不同；所述不同種的第二速率控制子網板的開口密度不同。

3.根據權利要求2所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述不同種的第一速率控制子網板根據開口密度大小依次間隔排布；所述不同種的第二速率控制子網板根據開口密度大小依次間隔排布。

4.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述第一速率控制子網板之間設置有間隔帶；所述第二速率控制子網板之間設置有間隔帶。

5.根據權利要求1-4其中任一項所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述蒸鍍設備還包括第一網板轉送控制輪，用于轉動來移動所述第一速率控制網板；所述蒸鍍設備還包括第二網板轉送控制輪，用于轉動來移動所述第二速率控制網板。

6.一種有機發光二極管器件制作方法，其特征在于，所述器件包括至少兩層電子傳輸層，利用權利要求1-5所述的蒸鍍設備蒸鍍形成所述器件中的所述至少兩層電子傳輸層，該方法包括：

根據所述器件中需要形成的各電子傳輸層的主體材料與客體材料的質量比，在第一蒸鍍材料腔中設置主體材料或客體材料作為第一蒸鍍材料，移動第一速率控制網板，使對應的第一速率控制子網板依次對準第一蒸鍍材料噴嘴，蒸鍍所述第一蒸鍍材料以形成第一電子傳輸層；在第二蒸鍍材料腔中設置主體材料或客體材料作為第二蒸鍍材料，移動第二速率控制網板，使對應的第二速率控制子網板依次對準第二蒸鍍材料噴嘴，蒸鍍所述第二蒸鍍材料以形成第二電子傳輸層。