[發(fā)明專利]一種掃描電子顯微鏡用全方位輔助成像系統(tǒng)及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510053462.4
• 申請日: 2015-01-31
• 公開（公告）號: CN104715990B
• 公開（公告）日: 2017-04-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 尚萬峰
• 申請（專利權(quán)）人: 西安科技大學(xué)
• 主分類號: H01J37/26
• 分類號: H01J37/26;H01J37/28;H01J37/22
• 代理公司: 西安創(chuàng)知專利事務(wù)所61213
• 代理人: 景麗娜

1.一種掃描電子顯微鏡用全方位輔助成像系統(tǒng)，其特征在于：包括安裝在掃描電子顯微鏡的基座(1)上的旋轉(zhuǎn)對中裝置和供所掃描樣品(6)放置的樣品臺，所述樣品臺安裝在所述旋轉(zhuǎn)對中裝置上；所述旋轉(zhuǎn)對中裝置包括對所述樣品臺進行平移的平移裝置和帶動所述樣品臺與所述平移裝置同步繞水平轉(zhuǎn)軸(23)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)安裝在基座(1)上，所述平移裝置安裝在所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)上且其位于所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)內(nèi)側(cè)，所述樣品臺固定在所述平移裝置上且其位于所述平移裝置內(nèi)側(cè)；所述樣品(6)位于所述樣品臺內(nèi)側(cè)且其呈水平布設(shè)，所述樣品(6)與水平轉(zhuǎn)軸(23)呈平行布設(shè)。

2.按照權(quán)利要求1所述的一種掃描電子顯微鏡用全方位輔助成像系統(tǒng)，其特征在于：所述樣品(6)為圓錐體，所述圓錐體的底面固定在所述樣品臺上。

3.按照權(quán)利要求1或2所述的一種掃描電子顯微鏡用全方位輔助成像系統(tǒng)，其特征在于：所述樣品臺為呈豎直向布設(shè)的豎向平臺(5)；所述基座(1)呈水平布設(shè)，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、所述豎向平移機構(gòu)和所述水平平移機構(gòu)均呈豎直向布設(shè)；

所述平移裝置包括帶動所述樣品臺在水平方向上進行前后平移的水平平移機構(gòu)和帶動所述樣品臺與所述水平平移機構(gòu)同步在豎直方向上進行上下平移的豎向平移機構(gòu)，所述樣品臺安裝在所述水平平移機構(gòu)上，所述水平平移機構(gòu)安裝在所述豎向平移機構(gòu)上，且所述豎向平移機構(gòu)安裝在所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)上；所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、所述豎向平移機構(gòu)、所述水平平移機構(gòu)和所述樣品臺由外至內(nèi)進行布設(shè)。

4.按照權(quán)利要求3所述的一種掃描電子顯微鏡用全方位輔助成像系統(tǒng)，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括固定安裝在基座(1)上的豎向固定座(21)和位于豎向固定座(21)內(nèi)側(cè)且能在豎直面上進行旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)座(22)，所述水平轉(zhuǎn)軸(23)布設(shè)在旋轉(zhuǎn)座(22)外側(cè)且其安裝在豎向固定座(21)上，豎向固定座(21)上開有供水平轉(zhuǎn)軸(23)安裝的水平安裝孔。

5.按照權(quán)利要求4所述的一種掃描電子顯微鏡用全方位輔助成像系統(tǒng)，其特征在于：所述豎向平移機構(gòu)包括固定安裝在旋轉(zhuǎn)座(22)上的第一固定板(31)和安裝在第一固定板(31)內(nèi)側(cè)且能在豎直方向上進行上下平移的豎向平移板(32)，所述豎向平移板(32)位于第一固定板(31)內(nèi)側(cè)；所述水平平移機構(gòu)包括固定安裝在豎向平移板(32)上的第二固定板(41)和安裝在第二固定板(41)內(nèi)側(cè)且能在水平方向上進行前后平移的水平平移板(42)，所述第二固定板(41)位于豎向平移板(32)內(nèi)側(cè)。

6.按照權(quán)利要求5所述的一種掃描電子顯微鏡用全方位輔助成像系統(tǒng)，其特征在于：還包括控制器(9)以及對旋轉(zhuǎn)座(22)的旋轉(zhuǎn)角度和旋轉(zhuǎn)方向進行實時檢測的旋轉(zhuǎn)角度檢測單元(25)和旋轉(zhuǎn)方向檢測單元(26)；所述旋轉(zhuǎn)座(22)為圓柱形座體，所述旋轉(zhuǎn)座(22)與水平轉(zhuǎn)軸(23)呈同軸布設(shè)；所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)還包括帶動旋轉(zhuǎn)座(22)在豎直面上進行旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)(24)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)(24)與水平轉(zhuǎn)軸(23)進行傳動連接；所述豎向平移機構(gòu)還包括帶動豎向平移板(32)進行上下平移的豎向平移驅(qū)動機構(gòu)(33)，所述豎向平移驅(qū)動機構(gòu)(33)與豎向平移板(32)進行傳動連接；所述水平平移機構(gòu)還包括帶動水平平移板(42)進行前后平移的水平平移驅(qū)動機構(gòu)(43)，所述水平平移驅(qū)動機構(gòu)(43)與水平平移板(42)進行傳動連接；所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)(24)、豎向平移驅(qū)動機構(gòu)(33)和水平平移驅(qū)動機構(gòu)(43)均為電動驅(qū)動機構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)(24)、豎向平移驅(qū)動機構(gòu)(33)和水平平移驅(qū)動機構(gòu)(43)均由控制器(9)進行控制且三者均與控制器(9)相接；

所述豎向平移板(32)上裝有對其上下平移位移進行實時檢測的豎向位移檢測單元(34)，且水平平移板(42)上裝有對其前后平移位移進行實時檢測的水平位移檢測單元(44)，所述旋轉(zhuǎn)角度檢測單元(25)、旋轉(zhuǎn)方向檢測單元(26)、豎向位移檢測單元(34)和水平位移檢測單元(44)均與控制器(9)相接。