[發明專利]一種核殼合金結構的電磁屏蔽的機織物加工方法

有效

• 申請號: 201510047681.1
• 申請日: 2015-01-30
• 公開（公告）號: CN104746331B
• 公開（公告）日: 2017-03-29
• 發明（設計）人: 黃鋒林;彭斌;李雙雙;劉文婷;魏取福
• 申請（專利權）人: 江南大學
• 主分類號: D06M11/42
• 分類號: D06M11/42;D06M11/83;C23C14/08;C23C14/14;C23C14/34;D06M101/06
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1.一種核殼合金結構的電磁屏蔽機織物的加工方法，其特征在于，包括下述步驟：

(1)織物前處理：使用等離子沉積裝置對平紋棉織物進行預處理；

(2)沉積第一層氧化亞銅：將步驟(1)中預處理過的平紋棉織物放入充滿氧氣的等離子沉積室中，通過金屬銅、氧化銅靶材和氧氣的反應沉積，在織物表面形成氧化亞銅基層；

(3)核殼合金結構的生成：將步驟(2)中的織物移入具有銀靶和銅靶的反應室中，通入氦氣，形成內銀外銅的核殼合金屬結構層；

(4)抗氧化層的形成：將步驟(3)中的織物移入具有氧化銅靶的反應室中，在核殼合金表面生成氧化銅保護層。

2.根據權利1所述的核殼合金結構的電磁屏蔽機織物的加工方法，其特征在于：所述步驟(1)的裝置為去除靶材的等離子沉積裝置，反應氣體為氬氣，反應室的真空度等于或低于0.0001Pa。

3.根據權利1所述的核殼合金結構的電磁屏蔽機織物的加工方法，其特征在于：所述步驟(2)控制氧氣的壓強為0.1Pa，氧氣為反應氣體，氧化銅與銅靶為反應物，功率為200W，在機織物表面形成氧化亞銅顆粒。

4.根據權利1所述的核殼合金結構的電磁屏蔽機織物的加工方法，其特征在于：所述步驟(3)的反應條件是，0.5Pa的氦氣為共同濺射氣體，銅靶與銀靶的反應功率比為1∶10，銅靶反應溫度為100℃，銅靶的反應功率160-200W，銀靶的反溫度為250℃，共同沉積時間為15分鐘，然后銅靶單獨等離子沉積30分鐘。

5.根據權利1所述的核殼合金結構的電磁屏蔽機織物的加工方法，其特征在于：所述步驟(4)中的反應氣體為氬氣，反應室的真空度達0.00001Pa。