[發明專利]旋光計量方法及旋光計量裝置

在審

• 申請號: 201510046529.1
• 申請日: 2015-01-29
• 公開（公告）號: CN104819939A
• 公開（公告）日: 2015-08-05
• 發明（設計）人: 池田陽;西田和弘
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01N21/21
• 分類號: G01N21/21;G01N21/45;G01N21/01
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

1.一種旋光計量方法，其特征在于，包括：

對被檢測體以非直角的入射方向入射規定偏光的計量光；

辨別來自所述被檢測體的、與所述入射方向不同的方向的反射光中的所述規定偏光的旋光反映成分；以及

基于所述辨別的結果對旋光進行計量。

2.根據權利要求1所述的旋光計量方法，其特征在于，還包括：

從直線偏振光得到所述計量光與參考光；以及

使所述參考光與所述反射光通過合成而干涉，

所述辨別包括使用所述干涉的結果進行所述辨別。

3.根據權利要求2所述的旋光計量方法，其特征在于，還包括：

改變使所述參考光與所述反射光合成之前的所述參考光的光路長度。

4.根據權利要求3所述的旋光計量裝置，其特征在于，

所述計量包括使用所述光路長度計量所述旋光。

5.一種旋光計量裝置，其特征在于，具備：

計量光照射部，其對被檢測體以非直角的入射方向入射規定偏光的計量光；

辨別部，用于辨別來自所述被檢測體的、與所述入射方向不同的方向的反射光中的所述規定偏光的旋光反映成分；以及

計量部，其基于所述辨別的結果對旋光進行計量。

6.根據權利要求5所述的旋光計量裝置，其特征在于，還具備：

分割部，將直線偏振光分割為所述計量光與參考光；以及

合成部，使所述參考光與所述反射光合成，以使所述參考光與所述反射光干涉，

所述辨別部使用所述干涉的結果辨別所述旋光反映成分。

7.根據權利要求6所述的旋光計量裝置，其特征在于，還具備：

光路長度改變機構，改變使所述參考光與所述反射光合成之前的所述參考光的光路長度。

8.根據權利要求7所述的旋光計量裝置，其特征在于，

所述計量部使用所述光路長度計量所述旋光。

9.根據權利要求6至8中任一項所述的旋光計量裝置，其特征在于，

所述分割部與所述合成部通過共用一個分光鏡而構成。

10.根據權利要求5至9中任一項所述的旋光計量裝置，其特征在于，

所述計量光照射部具有成為向所述被檢測體入射的入射光和從所述被檢測體出射的出射光通過的光學前端部的透鏡部，通過使通過該透鏡部的所述計量光的光軸從所述透鏡部的主點偏移，使所述計量光以非直角的入射方向入射至所述被檢測體，

所述旋光計量裝置被構成為所述反射光通過隔著所述透鏡部的主點與所述計量光的光軸對稱的位置。