[發明專利]一種調焦調平裝置及測量方法有效
| 申請號： | 201510041183.6 | 申請日： | 2015-01-28 |
| 公開（公告）號： | CN105988295B | 公開（公告）日： | 2018-11-09 |
| 發明（設計）人： | 黃棟梁;忻斌杰;唐平玉 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備（集團）股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 調焦 平裝 測量方法 | ||
【說明書】：
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