[發明專利]搬送載體及器件搬送裝置

有效

• 申請號: 201510040831.6
• 申請日: 2012-12-25
• 公開（公告）號: CN104678285B
• 公開（公告）日: 2018-05-04
• 發明（設計）人: 中嶋治希;菊池裕之;山下毅
• 申請（專利權）人: 株式會社愛德萬測試
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 深圳市順天達專利商標代理有限公司44217
• 代理人: 高占元

技術領域

本發明涉及一種用于測試半導體集成電路元件等各種電子元件(以下稱作DUT(Device Under Test))的測試裝置上的、用于保持器件的搬送載體，以及具有該種搬送載體的器件搬送裝置。

本申請是申請日為2012年12月25日、申請號為201210569791.0、名稱為“電子元件移載裝置、電子元件操作裝置以及電子元件測試裝置”的中國發明專利申請的分案申請。

技術背景

已知的是，作為用于測試電子元件的電子元件測試裝置，測試前后在用戶托盤(customer tray)與測試托盤之間移換DUT(例如參照專利文獻1)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開第2008/041334號

發明內容

發明要解決的技術問題

上述的電子元件測試裝置中，由于是通過所謂的提押(pick and press)裝置在托盤之間移換DUT，故其移載能力有限。

本發明要解決的技術問題是，提供對DUT進行保持的搬送載體，以及具有該種搬送載體的器件搬送裝置。

解決技術問題的方法

本發明的搬送載體，在用于搬送器件的器件搬送裝置的導軌上至少設置有一個，所述搬送載體包括：用于保持器件的器件保持部，以及基部，所述基部上安裝有所述器件保持部，并沿所述導軌進行導向。

上述發明中，所述器件保持部包括用于限制所述器件的保持機構。

上述發明中，所述保持機構通過推壓抵接部而打開，從而放開所述器件。

上述發明中，所述器件保持部包括容納所述器件的器件容納穴；所述保持機構在所述器件容納穴內限制所述器件。

上述發明中，所述基部與使所述搬送載體在所述導軌上移動的送出裝置相卡合。

上述發明中，所述基部具有用于使所述搬送載體在所述導軌上移動的軸承支座。

上述發明中，所述基部具有軌道容納槽；所述導軌插入所述軌道容納槽內。

上述發明中，所述基部在所述基部的兩側形成有一對所述軌道容納槽，且一對所述導軌分別插入所述軌道容納槽內。

上述發明中，通過使從所述導軌的吹出口排出的壓縮空氣介于所述導軌容納槽和所述導軌之間，使所述搬送載體從所述導軌上浮。

本發明的器件搬送裝置，包括多上述的搬送載體；以及用于對多個所述搬送載體進行導向的導軌。

根據本發明，在托盤間移載被測電子元件時，可將器件保持在可在導軌上導向且移動的搬送載體上，由此使多個保持構件在無端的軌道上循環從而可依次搬送被測電子元件，故可提高托盤間的被測電子元件的移載能力。

附圖說明

圖1是表示本發明的實施方式的電子元件測試裝置的平面圖。

圖2是表示本發明的實施方式的電子元件測試裝置的斜視圖。

圖3是表示沿圖1的III-III線的截面圖。

圖4是表示沿圖1的IV-IV線的截面圖。

圖5是表示本發明的實施方式的裝載部的器件搬送裝置的側面圖。

圖6是圖5所示的器件搬送裝置的梭子以及導軌的側面圖。

圖7是沿著圖6的VII-VII線的截面圖。

圖8是表示本發明的實施方式的器件搬送裝置的變形例的側面圖。

圖9(a)～圖9(e)是表示從本發明的實施方式的從用戶托盤至梭子的移載動作的示意圖，圖9(a)是表示該移載動作的概要的示意圖，圖9(b)～圖9(e)示出了該移載動作的各個步驟的示意圖。

圖10表示了圖5中所示的器件搬送裝置的間隔變更機構的放大圖。

圖11是表示第2送出裝置的送出速度與第3送出裝置的接收動作的關系的示意圖。

圖12(a)～圖12(e)是表示從本發明的實施方式的梭子至測試托盤的移載動作的示意圖；圖12(a)是表示該移載動作的概要的示意圖，圖12(b)～圖12(e)是表示該移載動作的各步驟的示意圖。

圖13是表示本發明的實施方式的電子元件操作裝置的測試部以及測試頭上部的結構的截面圖。

圖14(a)～圖14(f)是表示本發明實施方式的從測試托盤至梭子的移載動作的示意圖，圖14(a)為表示該移載動作的概要的示意圖，圖14(b)～圖14(f)表示了該移載動作的各個步驟的示意圖。

圖15(a)～圖15(e)是表示本發明實施方式的從梭子至用戶托盤的移載動作的示意圖，圖15(a)是表示該移載動作的概要的示意圖，圖15(b)～圖15(e)是表示該移載動作的概要的示意圖。