[發明專利]多個真空室樣品自動交接旋轉伸縮機構有效
| 申請號： | 201510040198.0 | 申請日： | 2015-01-27 |
| 公開（公告）號： | CN104561922B | 公開（公告）日： | 2016-11-23 |
| 發明（設計）人： | 董捷;李洪亮 | 申請（專利權）人： | 沈陽慧宇真空技術有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/56 | 分類號： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 沈陽世紀藍海專利事務所(普通合伙) 21232 | 代理人： | 王勝利 |
| 地址： | 110042 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 真空 樣品 自動 交接 旋轉 伸縮 機構 | ||
【權利要求書】：
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