[發明專利]相關光學和帶電粒子顯微鏡

有效

• 申請號: 201510040069.1
• 申請日: 2015-01-27
• 公開（公告）號: CN104810230B
• 公開（公告）日: 2017-03-08
• 發明（設計）人: B.布伊斯塞
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: H01J37/22
• 分類號: H01J37/22;H01J37/26
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 王岳,姜甜

1.一種被裝配成執行相關光學顯微術和帶電粒子顯微術的裝置，該裝置包括：

·?帶電粒子柱，其示出用于沿著粒子光軸（3）產生一束帶電粒子的帶電粒子源（2）和包括用于使所述帶電粒子束聚焦的兩個極靴（8A、8B）的磁性物鏡（7）；

·?樣本位置，位于極靴之間，

·?光學顯微鏡（10），用于對位于樣本位置處的薄平樣本（1）進行成像，該光學顯微鏡示出了垂直于粒子光軸的光軸（308）；以及

·?樣本保持器（5），用于將薄平樣本保持在其中可以用粒子光軸對薄平樣本進行成像的第一取向中以及在其中薄平樣本垂直于光軸的第二取向中；

其特征在于

·?該光學顯微鏡具有非旋轉對稱且被截短以安裝在磁性物鏡的極靴之間的物鏡，其中平行于粒子光軸（3）的尺寸小于垂直于粒子光軸的尺寸，從而示出在兩個方向上不同的數值孔徑和由此的在兩個方向上不同的分辨率；以及

·?用于收集光的接受立體角大于安裝在極靴之間的最大旋轉對稱透鏡的接受立體角。

2.權利要求1的裝置，其中，所述樣本保持器在第二取向上被裝配成在垂直于光軸的平面中使樣本旋轉超過90度。

3.前述權利要求中的任一項的裝置，其中，所述帶電粒子源（2）是電子源且帶電粒子束是電子束。

4.前述權利要求中的任一項的裝置，其中，所述光學顯微鏡的物鏡是可縮回透鏡。

5.前述權利要求中的任一項的裝置，其中，所述物鏡的至少一部分被涂敷薄導電透明層，更具體地一層氧化銦錫。

6.一種使用根據前述權利要求中的任一項所述的裝置的方法，該方法包括步驟：

·?在樣本位置上提供薄平樣本（1）；

·?將樣本定位于第二取向上；以及

·?用光學顯微鏡（10）來獲得樣本的第一圖像，

其特征在于

·?在獲得第一圖像之后，使樣本在垂直于光軸（308）的平面中旋轉，并且用光學顯微鏡來獲取第二圖像；

·?將第一和第二圖像對準并組合以形成與在平行于粒子光軸（3）的方向上的第一圖像所示出的相比具有更高分辨率的光學圖像。

7.權利要求6的方法，其中，所述旋轉是超過90度的旋轉。

8.權利要求6或權利要求7中的任一項的方法，其中，在使用光學顯微鏡獲取圖像之后且在用帶電粒子柱獲取圖像之前使物鏡縮回。

9.權利要求6—8中的任一項的方法，其中，所述組合包括形成用光學顯微鏡獲取的每個圖像的傅立葉變換，將傅立葉變換相加，并基于相加的傅立葉變換而重構圖像。

10.權利要求6—8中的任一項的方法，其中，所述組合包括首先將用光學顯微鏡獲取的圖像相加，并且然后抑制每個的低頻或者首先抑制所述圖像中的每個中的低頻且然后將所述圖像相加。

11.權利要求6—10中的任一項的方法，其中，所述方法還包括使用粒子光學柱來獲得圖像。