[發(fā)明專利]彈簧套筒式探針

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510039905.4
• 申請日: 2015-01-27
• 公開（公告）號: CN104897934B
• 公開（公告）日: 2018-08-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郭廷鑫;陳宗毅;李天嘉;李逸隆;吳堅州
• 申請（專利權(quán)）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 北京紀(jì)凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11245
• 代理人: 關(guān)暢;王燕秋

本發(fā)明涉及一種彈簧套筒式探針，包含一針體、一套設(shè)于針體外的彈簧套筒以及一凸出部，該彈簧套筒具有上、下非彈簧段及位于上、下非彈簧段之間的至少一彈簧段，該針體的一下端部自該下非彈簧段凸伸而出，該針體的一上端部位于該上非彈簧段內(nèi)，該凸出部位于該上端部及該上非彈簧段二者其中之一，該針體能受外力作用而自一起始位置相對該上非彈簧段移動至一連接位置，該針體位于該連接位置時，該上非彈簧段與該針體的上端部通過該凸出部而相互電性連接；由此，該探針能有效避免訊號經(jīng)由彈簧段傳輸，以提升訊號傳輸穩(wěn)定性，并避免彈簧段斷裂。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明與應(yīng)用于探針卡的探針有關(guān)，特別是指一種彈簧套筒式探針。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體芯片進行測試時，測試機通過一探針卡而與待測物電性連接，并通過訊號傳輸及訊號分析，獲得待測物的測試結(jié)果。習(xí)用的探針卡通常由一電路板及一探針裝置組成，或者更包含有一設(shè)于該電路板及該探針裝置之間的空間轉(zhuǎn)換器，該探針裝置設(shè)有多數(shù)對應(yīng)待測物的電性接點而排列的探針，以通過各探針同時點觸各電性接點。

圖1是一種習(xí)用的彈簧套筒式探針11的平面分解圖，探針11包含有一針體12，以及一套設(shè)于針體12外的彈簧套筒13。圖2為采用該彈簧套筒式探針11的探針卡14的剖視示意圖，為了方便說明，圖2的比例并未對應(yīng)圖1的比例。探針卡14包含有一電路板15及一探針裝置16，探針裝置16包含有一探針座17及多個探針11，圖2僅顯示出一小部分的電路板15及探針座17，以及一探針11，以便說明。

探針11的針體12與彈簧套筒13的結(jié)合方式，是將彈簧套筒13的一接近其下端的結(jié)合部132壓合于針體12，并通過焊接(或稱熔接，例如點焊(spot welding))相互固定。探針座17由上、中、下導(dǎo)板171、172、173構(gòu)成(也可沒有中導(dǎo)板172而僅有上、下導(dǎo)板171、173)，各導(dǎo)板共同形成多個安裝孔174(圖2僅顯示出一安裝孔174)，各安裝孔174由上導(dǎo)板171的一上導(dǎo)引孔171a、中導(dǎo)板172的一中導(dǎo)引孔172a及下導(dǎo)板173的一下導(dǎo)引孔173a構(gòu)成，用于安裝一探針11。彈簧套筒13的結(jié)合部132朝向上導(dǎo)板171而依序通過上導(dǎo)板171的上導(dǎo)引孔171a及中導(dǎo)板172的中導(dǎo)引孔172a，進而設(shè)于下導(dǎo)板173的下導(dǎo)引孔173a內(nèi)，并使針體12的底端穿過下導(dǎo)板173的貫穿孔173b而使針體12的底端凸露出下導(dǎo)板173之外，此時，探針11的結(jié)合部132的底面支撐在下導(dǎo)板173的下導(dǎo)引孔173a的底面上，由此，探針11可以保持在上、中及下導(dǎo)板171、172、173中，而不會脫落。

探針裝置16組裝完成后，電路板15固定于探針座17的頂面175，彈簧套筒13的頂端與電路板15的電性接點電性連接，針體12的底端用于點觸待測物的電性接點。由于抵觸于電路板15的彈簧套筒13具有可彈性壓縮的二彈簧段138，而針體12的下段與彈簧套筒13下端的結(jié)合部132固接，且針體12頂端與電路板15(彈簧套筒13的頂端)存留有一間隙18，當(dāng)針體12的底端抵觸于待測物的電性接點并相對進給時，針體12將內(nèi)縮，進而壓縮彈簧套筒13，因此，探針11不但能與待測物的電性接點確實接觸并電性導(dǎo)通，更可通過彈簧套筒13所提供的緩沖功能來避免接觸力過大而造成待測物的電性接點或針體損壞或過度磨損。

當(dāng)電路板15與一測試機(圖中未示)電性連接，且針體12的底端點觸待測物的電性接點時，該測試機與該待測物之間即可經(jīng)由彈簧套筒13與針體12相互傳遞測試訊號。更明確地說，探針11最好能主要以針體12傳輸測試訊號，并以針體12的尾部122與彈簧套筒13頂部的非彈簧段139接觸，進而經(jīng)由非彈簧段139傳輸測試訊號。舉例而言，訊號自該待測物傳輸至針體12底端后，最好先在針體12內(nèi)傳輸至針體12的尾部122，再經(jīng)由彈簧套筒13頂部的非彈簧段139傳輸至電路板15。