[發(fā)明專利]工業(yè)用機(jī)器人

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510039803.2
• 申請日: 2015-01-27
• 公開（公告）號: CN104810314A
• 公開（公告）日: 2015-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 矢澤隆之;志村芳樹
• 申請（專利權(quán)）人: 日本電產(chǎn)三協(xié)株式會社
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;B25J9/06
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 沈捷

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人等工業(yè)用機(jī)器人。

背景技術(shù)

以往，公知有一種搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓的工業(yè)用機(jī)器人(例如參照專利文獻(xiàn)1)。專利文獻(xiàn)1中記載的工業(yè)用機(jī)器人包括裝載半導(dǎo)體晶圓的兩個手、兩個手能夠轉(zhuǎn)動地與其末端側(cè)連接的臂以及臂的基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動地與其連接的主體部。臂由第一臂部、第二臂部以及第三臂部構(gòu)成，所述第一臂部的基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動地與主體部連接，所述第二臂部的基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動地與第一臂部的末端側(cè)連接，所述第三臂部的基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動地與第二臂部的末端側(cè)連接，且兩個手與所述第三臂部的末端側(cè)連接。

在專利文獻(xiàn)1記載的工業(yè)用機(jī)器人中，第一驅(qū)動用馬達(dá)配置在主體部的內(nèi)部，所述第一驅(qū)動用馬達(dá)用于使第一臂部相對于主體部轉(zhuǎn)動且使第二臂部相對于第一臂部轉(zhuǎn)動。在第二臂部的內(nèi)部配置有用于使第三臂部相對于第二臂部轉(zhuǎn)動的第二驅(qū)動用馬達(dá)。在第三臂部的內(nèi)部配置有使兩個手分別相對于第三臂部轉(zhuǎn)動的兩個手驅(qū)動用馬達(dá)。

并且，專利文獻(xiàn)1中記載的工業(yè)用機(jī)器人包括作為檢測第一驅(qū)動用馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)位置的編碼器的第一編碼器、作為檢測第二驅(qū)動用馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)位置的編碼器的第二編碼器以及作為檢測手驅(qū)動用馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)位置的編碼器的手用編碼器。在將該工業(yè)用機(jī)器人設(shè)置于半導(dǎo)體的制造系統(tǒng)時，對工業(yè)用機(jī)器人進(jìn)行調(diào)整，將第一驅(qū)動用馬達(dá)的絕對旋轉(zhuǎn)位置的信息存儲于第一編碼器，將第二驅(qū)動用馬達(dá)的絕對旋轉(zhuǎn)位置的信息存儲于第二編碼器，將手驅(qū)動用馬達(dá)的絕對旋轉(zhuǎn)位置的信息存儲于手用編碼器。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2011-230256號公報

在工業(yè)用機(jī)器人中有配置于真空腔室內(nèi)而使用的工業(yè)用機(jī)器人，但近年來配置于真空腔室內(nèi)的工業(yè)用機(jī)器人有大型化的趨勢。因此，在將工業(yè)用機(jī)器人配置在真空腔室內(nèi)之后，在比較狹窄的真空腔室中，用于使大型的工業(yè)用機(jī)器人的手和臂動作并將馬達(dá)的絕對旋轉(zhuǎn)位置的信息存儲于編碼器的調(diào)整越發(fā)困難。并且，由于一般不能從真空腔室的外側(cè)通過目視確認(rèn)真空腔室的內(nèi)部，因此，以往在真空腔室中進(jìn)行用于使工業(yè)用機(jī)器人的手和臂動作并將馬達(dá)的絕對旋轉(zhuǎn)位置的信息存儲于編碼器的調(diào)整較困難。

在此，例如若在專利文獻(xiàn)1中記載的工業(yè)用機(jī)器人的主體部配置與第一編碼器、第二編碼器以及手用編碼器連接的電池，且在組裝工廠組裝完工業(yè)用機(jī)器人之后對工業(yè)用機(jī)器人進(jìn)行調(diào)整，將第一驅(qū)動用馬達(dá)的絕對旋轉(zhuǎn)位置的信息存儲于第一編碼器，將第二驅(qū)動用馬達(dá)的絕對旋轉(zhuǎn)位置的信息存儲于第二編碼器，將手驅(qū)動用馬達(dá)的絕對旋轉(zhuǎn)位置的信息存儲于手用編碼器，則在工業(yè)用機(jī)器人從組裝工廠發(fā)貨到設(shè)置在半導(dǎo)體的制造系統(tǒng)期間，能夠通過從電池提供的電力來保持存儲于各編碼器的各馬達(dá)的絕對旋轉(zhuǎn)位置的信息。因此，在這種情況下，不必進(jìn)行用于使專利文獻(xiàn)1中記載的工業(yè)用機(jī)器人的手和臂在真空腔室動作，并使馬達(dá)的絕對旋轉(zhuǎn)位置的信息存儲于編碼器的調(diào)整。

另一方面，如上所述，配置在真空腔室內(nèi)的工業(yè)用機(jī)器人有大型化的趨勢。因此，例如若不將在組裝工廠進(jìn)行了組裝、調(diào)整之后的工業(yè)用機(jī)器人分解成手、臂以及主體部之后搬入真空腔室，且在真空腔室再次進(jìn)行組裝，則無法將大型的工業(yè)用機(jī)器人配置在真空腔室內(nèi)，這樣的狀況一直在發(fā)生。

在專利文獻(xiàn)1記載的工業(yè)用機(jī)器人中，例如若將進(jìn)行了組裝、調(diào)整之后的工業(yè)用機(jī)器人分解成手、臂以及主體部，則即使在主體部配置有電池，存儲于第二編碼器的第二驅(qū)動用馬達(dá)的絕對旋轉(zhuǎn)位置的信息以及存儲于手用編碼器的手驅(qū)動用馬達(dá)的絕對旋轉(zhuǎn)位置的信息也會被重置。因此，在將專利文獻(xiàn)1中記載的大型的工業(yè)用機(jī)器人配置在真空腔室的情況下，在真空腔室內(nèi)進(jìn)行組裝之后，必須對工業(yè)用機(jī)器人進(jìn)行再調(diào)整，將第二驅(qū)動用馬達(dá)的絕對旋轉(zhuǎn)位置的信息存儲于第二編碼器，并將手驅(qū)動用馬達(dá)的絕對旋轉(zhuǎn)位置的信息存儲于手用編碼器。但是，如上所述，在真空腔室中，用于使大型的工業(yè)用機(jī)器人的手或臂動作并將馬達(dá)的絕對旋轉(zhuǎn)位置的信息存儲于編碼器的調(diào)整很難進(jìn)行。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明的課題是提供一種工業(yè)用機(jī)器人，所述工業(yè)用機(jī)器人即使在組裝、調(diào)整后被分解并被再次組裝，在再次組裝之后，也不必進(jìn)行用于將馬達(dá)的絕對旋轉(zhuǎn)位置的信息存儲于編碼器的調(diào)整。

為了解決上述課題，本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人包括手、臂、主體部以及多個馬達(dá)，手能夠轉(zhuǎn)動地與所述臂的末端側(cè)連接，臂的基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動地與所述主體部連接，所述多個馬達(dá)用于驅(qū)動手以及臂，工業(yè)用機(jī)器人的特征在于，工業(yè)用機(jī)器人由在被定位部件定位的狀態(tài)下借助螺釘連接且能夠分割的兩個以上的分割體構(gòu)成，在至少兩個分割體的內(nèi)部配置有馬達(dá)以及用于檢測馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)位置的編碼器，且在配置有馬達(dá)以及編碼器的分割體的內(nèi)部配置有與編碼器連接的電池。