[發(fā)明專利]托盤、承載裝置及半導(dǎo)體加工設(shè)備在審

申請(qǐng)?zhí)枺?/td>	201510039514.2	申請(qǐng)日：	2015-01-26
公開(kāi)（公告）號(hào)：	CN105895566A	公開(kāi)（公告）日：	2016-08-24
發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：	武學(xué)偉;張軍;董博宇;郭冰亮;馬懷超	申請(qǐng)（專利權(quán)）人：	北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
主分類號(hào)：	H01L21/673	分類號(hào)：	H01L21/673;C23C16/458
代理公司：	北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112	代理人：	彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>
地址：	100176 北京***	國(guó)省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關(guān)鍵詞：	托盤承載裝置半導(dǎo)體加工設(shè)備
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