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[發明專利]芯片生產線的廢水處理方法在審

專利信息
申請號: 201510037278.0 申請日: 2015-01-23
公開(公告)號: CN104609668A 公開(公告)日: 2015-05-13
發明(設計)人: 韋相亮;馬崇維;趙其 申請(專利權)人: 先達恩那社水處理工程(天津)有限公司
主分類號: C02F9/14 分類號: C02F9/14
代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315 代理人: 許志勇
地址: 300020 天津市和平區大沽北*** 國省代碼: 天津;12
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 芯片 生產線 廢水處理 方法
【權利要求書】:

1.一種芯片生產線的廢水處理方法,其特征在于,包括如下步驟:

接收來自于芯片生產線的廢水,所述廢水中包含納米級懸浮顆粒物;

在廢水中加入懸浮物污泥物質,以吸附廢水中的納米級顆粒物,形成微米級以上的懸浮顆粒物;

對所述廢水進行膜生物反應器處理,以去除廢水中的懸浮顆粒物。

2.根據權利要求1所述的芯片生產線的廢水處理方法,其特征在于,所述懸浮物污泥物質的濃度為500-1200PPM。

3.根據權利要求1所述的芯片生產線的廢水處理方法,其特征在于,所述廢水中加入懸浮物污泥物質的步驟之后進一步包括:

檢測所述懸浮物污泥物質的濃度;

若所述懸浮物污泥物質的濃度超過預設濃度,對所述懸浮物污泥物質進行排放。

4.根據權利要求1所述的芯片生產線的廢水處理方法,其特征在于,所述膜生物反應器包括中空纖維膜。

5.根據權利要求1所述的芯片生產線的廢水處理方法,其特征在于,所述廢水中加入懸浮物污泥物質的步驟之前進一步包括:

在廢水中加入PH值調節物質,以使得所述廢水的PH值呈弱酸性、中性或弱堿性;

對廢水進行過濾,以濾除廢水中的顆粒物體。

6.根據權利要求5所述的芯片生產線的廢水處理方法,其特征在于,所述廢水的PH值的范圍為6.5-8.5。

7.根據權利要求5所述的芯片生產線的廢水處理方法,其特征在于,所述對廢水進行過濾采用過濾器,其中所述過濾器的目數為60-100目。

8.根據權利要求1所述的芯片生產線的廢水處理方法,其特征在于,所述對所述廢水進行膜生物反應器處理的步驟之后進一步包括:

在通過膜生物反應器處理后的凈水中加入細菌抑制劑,以抑制凈水中的細菌滋生。

9.根據權利要求8所述的芯片生產線的廢水處理方法,其特征在于,所述細菌抑制劑包括次氯酸鈉。

10.根據權利要求9所述的芯片生產線的廢水處理方法,其特征在于,所述次氯酸鈉的余氯濃度為0.5-0.8PPM。

11.根據權利要求1所述的芯片生產線的廢水處理方法,其特征在于,所述廢水處理方法進一步包括:

對所述膜生物反應器表面進行空氣沖刷。

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