[發明專利]牽引式分子泵的轉子端面測溫裝置

有效

• 申請號: 201510037004.1
• 申請日: 2015-01-26
• 公開（公告）號: CN104612984B
• 公開（公告）日: 2017-02-22
• 發明（設計）人: 劉巍;周勃;韓莉果;李德鑫
• 申請（專利權）人: 核工業理化工程研究院
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/64;G01J5/00
• 代理公司: 天津市宗欣專利商標代理有限公司12103
• 代理人: 胡恩河

1.一種牽引式分子泵的轉子端面測溫裝置，包括圓筒形外殼（9），外殼（9）內部設置有圓柱形轉子（1），端面通過插入螺栓孔（30）中的螺栓（5）與端面法蘭（4）固定，外殼（9）內部、轉子（1）外圍、且與轉子（1）同軸設置有第一級分子泵（2），與第一級分子泵（2）過盈連接的第三級分子泵（3），第二級分子泵（8）固定在第三級分子泵裝配槽（29）中，圓筒形第一級分子泵（2）內壁形成螺旋狀第一級抽氣槽（27），圓盤形第二級分子泵（8）下端面形成多個沿圓周相間均布的第二級抽氣槽（18）和第二級抽氣槽壁（17），厚壁圓筒形第三級分子泵（3）下端面形成多個沿圓周相間均布的第三級抽氣槽（13）和第三級抽氣槽壁（12），第三級分子泵（3）外壁形成第三級側抽氣槽（28），其特征在于：螺釘（24）通過第三級分子泵（3）圓周處的第三級分子泵連接孔（11）擰入到端面法蘭（4）的端面法蘭螺紋孔（21）中，螺釘（24）探出端處于第二級分子泵（8）圓周的螺釘連接孔（16）中，過渡件（7）通過外螺紋固定在裝配階梯孔（10）的裝配螺紋孔（14）中，其自由端處于過渡件插入孔（19）中，測溫組件（6）中的紅外探頭（6a）擰入到過渡件（7）的裝配螺孔（33）中，數據線（6b）處于第二級分子泵數據線槽（15）、端面法蘭數據線槽（22）中，紅外測溫裝置（6c）通過測溫裝置安裝孔（23）固定在端面法蘭（4）中。

2.根據權利要求1所述的牽引式分子泵的轉子端面測溫裝置，其特征在于：過渡件（7）內部形成由密封環裝配孔（31）、限位孔（32）、裝配螺孔（33）組成的階梯孔，密封環裝配孔（31）內壁設置有過渡件密封環（25），過渡件密封環（25）套裝在紅外探頭（6a）外壁處，限位孔（32）階梯面處設置有紅外探頭密封墊（26）。

3.根據權利要求1所述的牽引式分子泵的轉子端面測溫裝置，其特征在于：第二級抽氣槽（18）、第三級抽氣槽（13）呈連續的放射狀弧線、并互相對齊，第二級抽氣槽（18）、第三級抽氣槽（13）的槽型均為變寬度的矩形。