[發明專利]連續剪切干涉測量方法

在審

• 申請號: 201510035268.3
• 申請日: 2015-01-23
• 公開（公告）號: CN104567721A
• 公開（公告）日: 2015-04-29
• 發明（設計）人: 馬康;謝惠民
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B11/26
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 張大威

1.一種連續剪切干涉測量方法，其特征在于，包括以下步驟：

通過相干梯度敏感干涉方法CGS的方法設置光路，其中，所述光路包括第一光柵、第二光柵、透鏡和光屏；

在所述第一光柵和第二光柵之間設置旋轉臺；

在所述旋轉臺之上設置預設厚度和折射率的透明介質薄片；

根據旋轉角與相移量的定量關系確定每次旋轉角度，并根據所述旋轉角度控制所述透明介質薄片旋轉三次以保證每次相移步進量為π/2；

獲取所述透明介質薄片旋轉之前的第一圖像，并獲取所述透明介質薄片每次旋轉之后的第二圖像至第四圖像；

按照四步移相原理式對所述第一圖像至第四圖像進行灰度運算以獲取包裹相位場；以及

進行解包裹以獲取形貌、曲率和梯度場。

2.如權利要求1所述的連續剪切干涉測量方法，其特征在于，紅光和綠光的光程差為：

δS(x，y+ε)-δS(x，y)＝2δω+δS¹-δS²，

其中，δS(x，y+ε)與δS(x，y)分別為試件表面y方向距離為ε的兩個點所反射的光線的光程，2δω表示因試件離面位移所引起的光程差，δS¹與δS²分別代表兩條光線除卻離面位移影響之外的光程；和

其中，d為平面介質厚度，n為平面介質的折射率的含義如圖所示。

3.根據權利要求2所述的連續剪切干涉測量方法，其特征在于，

平面介質中的光程差為：

$\frac{\mathrm{nd}}{{\cos \mathrm{\θ}}_3}-\frac{\mathrm{nd}}{{\cos \mathrm{\θ}}_1}=\mathrm{nd}\left(\frac{{\cos \mathrm{\θ}}_1-{\cos \mathrm{\θ}}_3}{{\cos \mathrm{\θ}}_3\·{\cos \mathrm{\θ}}_1}\right),$

平面介質外的光程差為：

其中，δe為一過渡光程差量。

4.根據權利要求3所示的連續剪切干涉測量方法，其特征在于，所述δe根據以下公式獲取，所述公式為：

δe＝(d₃+d₄)-(d₁+d₂)＝(H₁-H₂)·tanα。

其中，α為平面介質旋轉角。