[發明專利]MEMS器件、壓力傳感器、高度計、電子設備和移動體

在審

• 申請號: 201510028795.1
• 申請日: 2015-01-20
• 公開（公告）號: CN104817053A
• 公開（公告）日: 2015-08-05
• 發明（設計）人: 松澤勇介
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02;G01L1/10;G01C5/06
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種MEMS器件，其特征在于，

所述MEMS器件具備：

基板；

功能元件，其配置于所述基板上；

包圍壁，其配置于所述基板的一面側，并在俯視時包圍所述功能元件；

覆蓋層，其在俯視時與所述基板重疊，并與所述包圍壁連接；以及

加強層，其配置在所述覆蓋層和所述功能元件之間，

所述包圍壁具有：

基板側包圍壁；和

覆蓋層側包圍壁，其比所述基板側包圍壁靠近所述覆蓋層側，并且該覆蓋層側包圍壁的至少一部分在俯視時比所述基板側包圍壁靠內側。

2.根據權利要求1所述的MEMS器件，其中，

所述加強層具有在所述加強層的厚度方向上貫穿的貫穿孔。

3.根據權利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，

所述加強層與所述覆蓋層連接。

4.根據權利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，

所述基板具有膜片部，所述膜片部通過受壓而撓曲變形，在俯視時所述膜片部的至少一部分與所述覆蓋層重疊。

5.根據權利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，

所述功能元件的至少一部分在俯視時與所述覆蓋層側包圍壁重疊。

6.根據權利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，

所述功能元件具有壓阻元件。

7.根據權利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，

所述加強層的俯視形狀包括格子狀的部分。

8.一種壓力傳感器，其特征在于，

所述壓力傳感器具有權利要求1所述的MEMS器件。

9.一種高度計，其特征在于，

所述高度計具有權利要求1所述的MEMS器件。

10.一種電子設備，其特征在于，

所述電子設備具有權利要求1所述的MEMS器件。

11.一種移動體，其特征在于，

所述移動體具有權利要求1所述的MEMS器件。