[發(fā)明專利]基于氣壓驅(qū)動的微流體流量調(diào)節(jié)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510027999.3
• 申請日: 2015-01-20
• 公開（公告）號: CN104696706B
• 公開（公告）日: 2017-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李松晶;曾文;佟志忠;黃其濤
• 申請（專利權(quán)）人: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: F17D1/14
• 分類號: F17D1/14;F17D3/01;F17D3/18
• 代理公司: 哈爾濱龍科專利代理有限公司23206
• 代理人: 高媛

1.基于氣壓驅(qū)動的微流體流量調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，它包括供氣氣源（1）、減壓閥（2）、壓力傳感器（3）、液體容器（4）、閥門（5）、流量計(jì)（6）、微閥（7）、液體微流道（8）、微處理器（9）及PID控制器（10)；減壓閥（2）的氣體入口與供氣氣源（1）的壓縮空氣出口連通；減壓閥（2）的氣體出口與液體容器（4）的氣體入口連通，液體容器（4）的液體出口與閥門（5）的入口連通，閥門（5）的出口通過流量計(jì)（6）與液體微流道（8）的入口連通；微閥（7）設(shè)置在液體微流道（8）的上表面；壓力傳感器（3）檢測減壓閥（2）的出口氣體壓力，壓力傳感器（3）的氣體壓力信號輸出端與微處理器（9）的供氣壓力信號輸入端相連；流量計(jì)（6）采集實(shí)際液體流量信號，流量計(jì)（6）的實(shí)際液體流量信號輸出端與微處理器（9）的實(shí)際液體流量信號輸入端相連；微處理器（9）的流量控制指令信號輸出端與微閥（7）的流量控制指令信號輸入端相連；微處理器（9）的流量控制指令信號的形成過程為：微處理器（9）根據(jù)給定流量信號和流量計(jì)（6）采集的實(shí)際液體流量信號的差值形成流量控制指令信號；給定流量信號和流量計(jì)（6）采集的實(shí)際液體流量信號的差值經(jīng)PID控制器（10)調(diào)節(jié)，再由微處理器（9）形成流量控制指令信號；微閥（7）和液體微流道（8）集成為一體件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述基于氣壓驅(qū)動的微流體流量調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，微閥（7）的驅(qū)動方式為壓電驅(qū)動、氣壓驅(qū)動或電機(jī)驅(qū)動。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述基于氣壓驅(qū)動的微流體流量調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，供氣氣源（1）的供氣壓力大小為0～2 bar，液體微流道（8）的流量調(diào)節(jié)范圍為0.0001～0.5ml/min。