[發(fā)明專利]電子部件檢查裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510024613.3
• 申請(qǐng)日: 2015-01-16
• 公開（公告）號(hào): CN104820299A
• 公開（公告）日: 2015-08-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 津田仁彥;張春生;郭衛(wèi)紅;成飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 有限會(huì)社共同設(shè)計(jì)企畫
• 主分類號(hào): G02F1/13
• 分類號(hào): G02F1/13;G01N21/88
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種電子部件檢查裝置，具備：移動(dòng)載物臺(tái)，其用于載置電子部件；攝像單元，其拍攝載置在上述移動(dòng)載物臺(tái)上的電子部件的規(guī)定部位；定位單元，其用于使上述攝像單元相對(duì)于上述移動(dòng)載物臺(tái)的面平行地移動(dòng)，并定位在用于拍攝的適當(dāng)?shù)奈恢锰帲灰约靶畔⑻幚韱卧浔辉O(shè)定為根據(jù)由上述攝像單元得到的圖像數(shù)據(jù)來(lái)檢查上述攝像單元所拍攝部位的好壞，該電子部件檢查裝置的特征在于，

上述攝像單元具備：主體部，其安裝固定于上述定位單元；以及顯微鏡部，其以朝向所拍攝部位進(jìn)退自由的方式安裝于該主體部，

在上述顯微鏡部中內(nèi)置有用于得到所拍攝部位的放大圖像的物鏡，

在上述主體部中設(shè)置有：顯微鏡部進(jìn)退單元，其使顯微鏡部進(jìn)退來(lái)進(jìn)行對(duì)焦，使得上述物鏡相對(duì)于所拍攝部位處于最佳焦距；以及行掃描照相機(jī)，其取入由上述顯微鏡部得到的放大圖像并輸出到上述信息處理單元。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子部件檢查裝置，其特征在于，

在上述主體部中設(shè)置有內(nèi)置了同軸型激光位移傳感器的自動(dòng)對(duì)焦部，根據(jù)來(lái)自該自動(dòng)對(duì)焦部的指示，通過(guò)上述顯微鏡部進(jìn)退單元進(jìn)行對(duì)焦。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電子部件檢查裝置，其特征在于，

在上述信息處理單元中設(shè)置有根據(jù)圖像數(shù)據(jù)求出最佳焦距、根據(jù)最佳焦距對(duì)上述顯微鏡部進(jìn)退單元提供指示而進(jìn)行對(duì)焦的后述的圖像基準(zhǔn)對(duì)焦機(jī)構(gòu)S，能夠通過(guò)開關(guān)對(duì)基于上述自動(dòng)對(duì)焦部的對(duì)焦以及基于上述圖像基準(zhǔn)對(duì)焦機(jī)構(gòu)S的對(duì)焦進(jìn)行選擇，

其中，上述圖像基準(zhǔn)對(duì)焦機(jī)構(gòu)S為如下的機(jī)構(gòu)：一邊改變上述顯微鏡部的物鏡與所拍攝部位之間的距離L一邊拍攝圖像，根據(jù)拍攝得到的圖像數(shù)據(jù)，在上述信息處理單元中進(jìn)行最佳焦距的鎖定，反復(fù)進(jìn)行上述距離L的變更和拍攝直到?jīng)Q定出最佳焦距為止，由此進(jìn)行對(duì)焦，對(duì)于第一次對(duì)焦，將上述距離L設(shè)定為預(yù)先設(shè)定的規(guī)定距離，反復(fù)進(jìn)行該距離的變更和拍攝直到?jīng)Q定出最佳焦距為止，將所決定出的最佳焦距存儲(chǔ)到上述信息處理單元，對(duì)于第二次以及第二次以后的對(duì)焦，在上述信息處理單元中，根據(jù)上次以前存儲(chǔ)的最佳焦距的偏差來(lái)抽取固定的傾向，施加與該偏差對(duì)應(yīng)的校正來(lái)導(dǎo)出預(yù)測(cè)最佳焦距，首先將上述物鏡與所拍攝部位之間的距離L設(shè)定為上述預(yù)測(cè)最佳焦距，反復(fù)進(jìn)行該距離L的變更和拍攝直到?jīng)Q定出最佳焦距為止，由此進(jìn)行對(duì)焦，并且將所決定出的該最佳焦距存儲(chǔ)到上述信息處理單元。