[發(fā)明專利]一種復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)圓片的加工方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510023319.0
• 申請(qǐng)日: 2015-01-19
• 公開（公告）號(hào): CN104649221A
• 公開（公告）日: 2015-05-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔萬鵬;劉冠東;李靈毓;桂一鳴;高成臣;郝一龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京大學(xué)
• 主分類號(hào): B81C3/00
• 分類號(hào): B81C3/00;B81C1/00
• 代理公司: 無
• 代理人: 無

1.一種復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)圓片的加工方法，其特征在于，所要加工的硅玻璃混合結(jié)構(gòu)包括不同形狀的硅組件，玻璃，由硅組件與玻璃混合組成復(fù)雜的多維結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)加工方法，其特征在于，復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)包括以下加工步驟：采用單晶硅圓片，在單晶硅圓片上制備硅槽結(jié)構(gòu)；采用拋光的玻璃圓片，將玻璃圓片與已經(jīng)制備的硅槽結(jié)構(gòu)圓片鍵合；或采用玻璃粉，將玻璃粉填充至已經(jīng)制備的硅槽結(jié)構(gòu)圓片當(dāng)中；采用高溫爐熱處理硅玻璃鍵合圓片或硅玻璃粉填充圓片；采用化學(xué)機(jī)械拋光方法將熱處理后的圓片表面拋光，制備出復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)圓片；對(duì)于更復(fù)雜多層結(jié)構(gòu)，采用以上步驟制備其他圓片；采用靜電鍵合工藝將所制備多個(gè)圓片鍵合實(shí)現(xiàn)多層復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)圓片，或?qū)⑺苽鋱A片與硅圓片鍵合實(shí)現(xiàn)多層復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)圓片，或?qū)⑺苽鋱A片與玻璃圓片鍵合實(shí)現(xiàn)多層復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)圓片，或?qū)⑺苽鋱A片與硅圓片、玻璃圓片鍵合實(shí)現(xiàn)多層復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)圓片。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)加工方法，其特征在于，硅玻璃鍵合圓片與或硅玻璃粉填充圓片的熱處理方法包括以下步驟：對(duì)于硅玻璃鍵合圓片，采用高溫保溫一定時(shí)間處理；待玻璃填充硅槽結(jié)構(gòu)完成后，采用低溫保溫一定時(shí)間處理；待上述處理后的圓片結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，降溫至室溫處理；對(duì)于玻璃粉填充圓片，采用低溫保溫一定時(shí)間處理；待玻璃粉漿料蒸發(fā)干，采用高溫保溫一定時(shí)間處理；待玻璃粉漿料填充硅槽結(jié)構(gòu)完成后，采用低溫保溫一定時(shí)間處理；待上述處理后的圓片結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，降溫至室溫處理。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)加工方法，其特征在于，熱處理后的硅玻璃圓片的化學(xué)機(jī)械拋光處理方法包括以下步驟：根據(jù)所需厚度，研磨圓片去除多余玻璃；根據(jù)所需厚度，研磨圓片去除多余硅；拋光圓片所需表面。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱處理后的硅玻璃圓片的化學(xué)機(jī)械拋光處理方法，其特征在于，包括如下部分：研磨圓片去除多余玻璃至硅表面，拋光后的表面由硅與玻璃交錯(cuò)組成；研磨圓片去除多余玻璃，拋光后的表面由玻璃組成；研磨圓片去除多余硅至露出玻璃，拋光后的表面由硅與玻璃交錯(cuò)組成；研磨圓片去除多余硅，拋光后的表面由硅組成。

6.根據(jù)權(quán)利要求2、權(quán)利要求4與權(quán)利要求5所述的復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)鍵合方法，其特征在于，由多層所制備圓片組成或所制備圓片與硅圓片、玻璃圓片混合組成的多層復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)圓片的鍵合方法包括以下步驟：將圓片按照本層圓片硅與它層圓片玻璃相對(duì)的方式對(duì)齊，或?qū)⒈緦訄A片玻璃與他層圓片硅相對(duì)的方式對(duì)齊，靜電鍵合制備兩層復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)圓片；將所制備兩層復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)圓片與他層圓片采用硅對(duì)玻璃的方式對(duì)齊，靜電鍵合制備三層復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)圓片；類推上述步驟，制備多層復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)圓片。

7.根據(jù)權(quán)利要求2、權(quán)利要求4與權(quán)利要求5所述的復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)鍵合方法，其特征在于，由多層所制備圓片組成或所制備圓片與硅圓片、玻璃圓片混合組成的多層復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)圓片的鍵合方法包括以下步驟：將三層圓片按照本層圓片硅與它層圓片玻璃相對(duì)的方式對(duì)齊；靜電鍵合制備三層復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)圓片；將所制備三層復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)圓片與他層圓片采用硅對(duì)玻璃的方式對(duì)齊，靜電鍵合制備四層復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)圓片；類推上述步驟，制備多層復(fù)雜硅玻璃混合結(jié)構(gòu)圓片。