[發明專利]無翹曲Ⅲ族氮化物復合襯底的制備方法和襯底放置裝置有效
| 申請號： | 201510023297.8 | 申請日： | 2015-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN105845798B | 公開（公告）日： | 2018-10-19 |
| 發明（設計）人： | 吳潔君;程玉田;于彤軍;韓彤;張國義 | 申請（專利權）人： | 北京大學;北京燕園中鎵半導體工程研發中心有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/30 | 分類號： | H01L33/30;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京萬象新悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 蘇愛華 |
| 地址： | 100871*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 無翹曲 氮化物 復合 襯底 制備 方法 放置 裝置 | ||
【說明書】：
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