[發明專利]一種加載玻璃的非對稱的SiO2?金膜?SiO2波導結構的表面等離子體激元傳播裝置

有效

• 申請號: 201510023166.X
• 申請日: 2015-01-19
• 公開（公告）號: CN104614806B
• 公開（公告）日: 2017-09-29
• 發明（設計）人: 朱君;秦柳麗;宋樹祥;羅曉曙
• 申請（專利權）人: 廣西師范大學
• 主分類號: G02B6/122
• 分類號: G02B6/122
• 代理公司: 桂林市華杰專利商標事務所有限責任公司45112
• 代理人: 盧玉恒

1.一種加載玻璃的非對稱的SiO₂-金膜-SiO₂波導結構的表面等離子體激元傳播裝置，其特征是，包括順序疊接的頂層SiO₂層、金膜層、L形玻璃層、底層SiO₂層，其中玻璃層L形長邊的外端面與金膜層疊接，L形長邊的內端面與底層SiO₂層疊接，所述的L形玻璃層為高透射率 BK7 玻璃。

2.根據權利要求1所述的加載玻璃的非對稱的SiO₂-金膜-SiO₂波導結構的表面等離子體激元傳播裝置，其特征是，所述的金膜層刻蝕有光柵結構。

3.根據權利要求2所述的加載玻璃的非對稱的SiO₂-金膜-SiO₂波導結構的表面等離子體激元傳播裝置，其特征是，頂層SiO₂層、金膜層的長、寬均為1500nm、1000nm，L形玻璃層與底層SiO₂層疊接后的長、寬為1500nm、1000nm；頂層SiO₂層和底層SiO₂層的厚度分別為300nm和100nm，為不同厚度的非對稱介質，金膜層厚度為150nm、L形玻璃層厚度為150nm；金膜層光柵周期為30nm。