[發(fā)明專利]一種石墨烯/氮化硼/氧化鋅紫外探測器及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510021262.0 | 申請日： | 2015-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN104617180B | 公開（公告）日： | 2018-01-09 |
| 發(fā)明（設計）人： | 林時勝;吳志乾;徐志娟;李曉強;王朋;章盛嬌;鐘匯凱;徐文麗;陳紅勝 | 申請（專利權）人： | 浙江大學 |
| 主分類號： | H01L31/102 | 分類號： | H01L31/102;H01L31/0352;H01L31/02;H01L31/0296;H01L31/028;H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司33200 | 代理人： | 韓介梅 |
| 地址： | 310027 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 石墨 氮化 氧化鋅 紫外 探測器 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種石墨烯/氮化硼/氧化鋅紫外探測器，其特征在于自下而上依次有背面電極（1）、氧化鋅層（2）、氮化硼層（3）、石墨烯層（4）和正面電極（5），所述的氮化硼層（3）中的氮化硼為1-20層。
2.根據權利要求1所述的石墨烯/氮化硼/氧化鋅紫外探測器，其特征在于所述的氧化鋅層（2）為p型或者n型摻雜的氧化鋅。
3.根據權利要求1所述的石墨烯/氮化硼/氧化鋅紫外探測器，其特征在于所述的石墨烯層（4）中的石墨烯為1-10層。
4.根據權利要求1所述的石墨烯/氮化硼/氧化鋅紫外探測器，其特征在于所述的背面電極（1）是金、鈀、銀、鈦、鉻和鎳中的一種或者幾種的復合電極。
5.根據權利要求1所述的石墨烯/氮化硼/氧化鋅紫外探測器，其特征在于所述的正面電極（5）是金、鈀、銀、鈦、鉻和鎳中的一種或者幾種的復合電極。
6.制備權利要求1-5任一項所述的石墨烯/氮化硼/氧化鋅紫外探測器的方法，其特征在于包括如下步驟：
1）在潔凈的n型或p型摻雜氧化鋅的一面制作背面電極；
2）將原子層為1-20層的氮化硼轉移至上述潔凈的n型或p型摻雜氧化鋅的另一面上；
3）將原子層數為1-10層的石墨烯轉移至步驟2）所得的氮化硼層上；
4）在上述石墨烯層上制作正面電極。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發(fā)光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
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