[發(fā)明專利]一種研磨液、制備研磨液的方法和化學(xué)機(jī)械研磨方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510021240.4 | 申請日： | 2015-01-15 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN105838325B | 公開（公告）日： | 2019-04-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王芬;王立眾;楊志強(qiáng);譚玉榮 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C09K3/14 | 分類號(hào)： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京市磐華律師事務(wù)所 11336 | 代理人： | 董巍;高偉 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 研磨 制備 方法 化學(xué) 機(jī)械 | ||
【權(quán)利要求書】：
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