[發(fā)明專利]失效點(diǎn)的定位方法及芯片的失效分析方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510020474.7 | 申請日： | 2015-01-15 |
| 公開（公告）號： | CN105842264B | 公開（公告）日： | 2018-10-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 殷原梓 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | G01N23/2251 | 分類號： | G01N23/2251;G01N23/2202 |
| 代理公司： | 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240 | 代理人： | 吳貴明;張永明 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 失效 定位 方法 芯片 分析 | ||
【說明書】：
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