[發明專利]基于推挽式氣浮解耦裝置的三分量標準振動臺

有效

• 申請號: 201510019591.1
• 申請日: 2015-01-15
• 公開（公告）號: CN104614138B
• 公開（公告）日: 2017-05-24
• 發明（設計）人: 何聞;張旭飛;王春宇;賈叔仕;周杰
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: G01M7/06
• 分類號: G01M7/06;G01H17/00
• 代理公司: 杭州千克知識產權代理有限公司33246
• 代理人: 黃芳

1.基于推挽式氣浮解耦裝置的三分量標準振動臺，其特征在于：包括底座和設置于底座上的一對X軸向振動臺，一對Y軸向振動臺，一個Z軸向振動臺和三維振動平臺，兩個X軸向振動臺對稱設置于三維振動平臺兩側，兩個Y軸向振動臺對稱設置于三維振動平臺兩側，X軸向振動臺與Y軸向振動臺的運動方向正交；每個振動臺分別通過各自的運動解耦裝置與三維振動平臺連接，運動解耦裝置一端與對應的振動臺固定連接，另一端與三維振動平臺之間具有能夠形成氣膜的間隙；兩個X軸向振動臺的振動方向和振動頻率相同；兩個Y軸向振動臺的振動方向和振動頻率相同；Z軸向運動解耦裝置包括基體和氣浮板，基體中有氣浮腔，氣浮板放置于氣浮腔中并與氣浮腔間隙配合；氣浮板上固定有連接桿，連接桿與三維振動平臺固定；氣浮板上均勻分布有形成氣浮板上表面的上氣膜的上節流氣孔和形成氣浮板下表面的下氣膜的下節流氣孔；氣浮板上設有與氣源連通的供氣通道，基體上設有氣源接口。

2.如權利要求1所述的基于推挽式氣浮解耦裝置的三分量標準振動臺，其特征在于：X軸向運動解耦裝置和Y軸向運動解耦裝置分別包括各自的氣浮導軌，均勻分布于氣浮導軌上的節流氣孔和設置于氣浮導軌中、連通節流氣孔與氣源的氣流通道。

3.如權利要求2所述的基于推挽式氣浮解耦裝置的三分量標準振動臺，其特征在于：X軸向運動解耦裝置和Y軸向運動解耦裝置的氣流通道由多個與氣源連通的進氣道和連通各個進氣道的連通氣道組成，節流氣孔沿進氣道陣列分布；進氣道和連通氣道分別由開設于氣浮導軌上的通孔和設置于通孔一端的堵頭組成，進氣道一端設置堵頭，另一端為與氣源連接的進氣接口；連通氣道兩端均設置堵頭。

4.如權利要求3所述的基于推挽式氣浮解耦裝置的三分量標準振動臺，其特征在于：Z軸向運動解耦裝置的基體由下連接板、 上蓋板和墊圈組成，下連接板與Z軸向振動臺固定；下連接板,上蓋板和墊圈圍成氣浮腔，上蓋板具有允許連接桿穿過并與連接桿間隙配合的通孔，氣源接口開設于墊圈上，氣源接口對準供氣通道的進氣口。

5.如權利要求4所述的基于推挽式氣浮解耦裝置的三分量標準振動臺，其特征在于：上蓋板與墊圈一體。

6.如權利要求5所述的基于推挽式氣浮解耦裝置的三分量標準振動臺，其特征在于：氣浮板的供氣通道由交叉的縱向氣道和橫向氣道組成，縱向氣道沿氣浮板縱向均勻分布，橫向氣道沿氣浮板橫向均勻分布；上節流氣孔圍成第一氣孔圈，下節流氣孔圍成第二氣孔圈，第一氣孔圈、第二氣孔圈和氣浮板同軸；至少一個橫向氣道或者縱向氣道設置氣源接口。