[發(fā)明專利]基于推挽式氣浮解耦裝置的三分量標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510019591.1
• 申請日: 2015-01-15
• 公開（公告）號: CN104614138B
• 公開（公告）日: 2017-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何聞;張旭飛;王春宇;賈叔仕;周杰
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江大學(xué)
• 主分類號: G01M7/06
• 分類號: G01M7/06;G01H17/00
• 代理公司: 杭州千克知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司33246
• 代理人: 黃芳

1.基于推挽式氣浮解耦裝置的三分量標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺，其特征在于：包括底座和設(shè)置于底座上的一對X軸向振動(dòng)臺，一對Y軸向振動(dòng)臺，一個(gè)Z軸向振動(dòng)臺和三維振動(dòng)平臺，兩個(gè)X軸向振動(dòng)臺對稱設(shè)置于三維振動(dòng)平臺兩側(cè)，兩個(gè)Y軸向振動(dòng)臺對稱設(shè)置于三維振動(dòng)平臺兩側(cè)，X軸向振動(dòng)臺與Y軸向振動(dòng)臺的運(yùn)動(dòng)方向正交；每個(gè)振動(dòng)臺分別通過各自的運(yùn)動(dòng)解耦裝置與三維振動(dòng)平臺連接，運(yùn)動(dòng)解耦裝置一端與對應(yīng)的振動(dòng)臺固定連接，另一端與三維振動(dòng)平臺之間具有能夠形成氣膜的間隙；兩個(gè)X軸向振動(dòng)臺的振動(dòng)方向和振動(dòng)頻率相同；兩個(gè)Y軸向振動(dòng)臺的振動(dòng)方向和振動(dòng)頻率相同；Z軸向運(yùn)動(dòng)解耦裝置包括基體和氣浮板，基體中有氣浮腔，氣浮板放置于氣浮腔中并與氣浮腔間隙配合；氣浮板上固定有連接桿，連接桿與三維振動(dòng)平臺固定；氣浮板上均勻分布有形成氣浮板上表面的上氣膜的上節(jié)流氣孔和形成氣浮板下表面的下氣膜的下節(jié)流氣孔；氣浮板上設(shè)有與氣源連通的供氣通道，基體上設(shè)有氣源接口。

2.如權(quán)利要求1所述的基于推挽式氣浮解耦裝置的三分量標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺，其特征在于：X軸向運(yùn)動(dòng)解耦裝置和Y軸向運(yùn)動(dòng)解耦裝置分別包括各自的氣浮導(dǎo)軌，均勻分布于氣浮導(dǎo)軌上的節(jié)流氣孔和設(shè)置于氣浮導(dǎo)軌中、連通節(jié)流氣孔與氣源的氣流通道。

3.如權(quán)利要求2所述的基于推挽式氣浮解耦裝置的三分量標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺，其特征在于：X軸向運(yùn)動(dòng)解耦裝置和Y軸向運(yùn)動(dòng)解耦裝置的氣流通道由多個(gè)與氣源連通的進(jìn)氣道和連通各個(gè)進(jìn)氣道的連通氣道組成，節(jié)流氣孔沿進(jìn)氣道陣列分布；進(jìn)氣道和連通氣道分別由開設(shè)于氣浮導(dǎo)軌上的通孔和設(shè)置于通孔一端的堵頭組成，進(jìn)氣道一端設(shè)置堵頭，另一端為與氣源連接的進(jìn)氣接口；連通氣道兩端均設(shè)置堵頭。

4.如權(quán)利要求3所述的基于推挽式氣浮解耦裝置的三分量標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺，其特征在于：Z軸向運(yùn)動(dòng)解耦裝置的基體由下連接板、 上蓋板和墊圈組成，下連接板與Z軸向振動(dòng)臺固定；下連接板,上蓋板和墊圈圍成氣浮腔，上蓋板具有允許連接桿穿過并與連接桿間隙配合的通孔，氣源接口開設(shè)于墊圈上，氣源接口對準(zhǔn)供氣通道的進(jìn)氣口。

5.如權(quán)利要求4所述的基于推挽式氣浮解耦裝置的三分量標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺，其特征在于：上蓋板與墊圈一體。

6.如權(quán)利要求5所述的基于推挽式氣浮解耦裝置的三分量標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺，其特征在于：氣浮板的供氣通道由交叉的縱向氣道和橫向氣道組成，縱向氣道沿氣浮板縱向均勻分布，橫向氣道沿氣浮板橫向均勻分布；上節(jié)流氣孔圍成第一氣孔圈，下節(jié)流氣孔圍成第二氣孔圈，第一氣孔圈、第二氣孔圈和氣浮板同軸；至少一個(gè)橫向氣道或者縱向氣道設(shè)置氣源接口。