[發明專利]一種差分電容式一維位置矢量傳感器有效
| 申請號: | 201510019220.3 | 申請日: | 2015-01-14 |
| 公開(公告)號: | CN104654993B | 公開(公告)日: | 2017-08-11 |
| 發明(設計)人: | 張鐘華;白洋;魯云峰;韓冰;李正坤;賀青 | 申請(專利權)人: | 中國計量科學研究院 |
| 主分類號: | G01B7/00 | 分類號: | G01B7/00 |
| 代理公司: | 北京冠和權律師事務所11399 | 代理人: | 趙曉艾,章彥奇 |
| 地址: | 100029 北京市朝*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 種差 電容 式一維 位置 矢量 傳感器 | ||
1.一種差分電容式一維位置矢量傳感器,包括第一高壓極板、第二高壓極板、指零極板以及屏蔽窗口,第一高壓極板、第二高壓極板與指零極板之間形成差分電容,其特征在于:第一高壓極板、第二高壓極板與指零極板之間設有屏蔽窗口;所述屏蔽窗口在中央設有開口;屏蔽窗口可相對于差分電容運動;第一高壓極板、第二高壓極板與指零極板平行,屏蔽窗口與第一高壓極板、第二高壓極板以及指零極板平行。
2.根據權利要求1所述的差分電容式一維位置矢量傳感器,其特征是:第一高壓極板、第二高壓極板與指零極板的相對位置固定。
3.根據權利要求1所述的差分電容式一維位置矢量傳感器,其特征是:第一高壓極板、第二高壓極板與指零極板周圍設置有接地的屏蔽層。
4.根據權利要求1所述的差分電容式一維位置矢量傳感器,其特征是:所述屏蔽窗口為金屬片,且接地。
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