[發(fā)明專利]基板處理裝置的異常檢測(cè)裝置、及基板處理裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510018900.3
• 申請(qǐng)日: 2015-01-14
• 公開（公告）號(hào): CN104779185A
• 公開（公告）日: 2015-07-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杉山光德;井上正文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社荏原制作所
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/66;B24B37/04
• 代理公司: 上海市華誠律師事務(wù)所 31210
• 代理人: 彭里

本發(fā)明提供一種使基板處理裝置的異常的檢測(cè)精度提高的基板處理裝置的異常檢測(cè)裝置、及基板處理裝置。異常檢測(cè)裝置(520)包括數(shù)據(jù)收集部(522)，數(shù)據(jù)收集部(522)收集由設(shè)于CMP裝置的傳感器(270?1～270?a、370?1～370?b、470?1～470?c)所檢測(cè)的數(shù)據(jù)。此外，異常檢測(cè)裝置(520)包括判定部(524)，判定部(524)從儲(chǔ)存有規(guī)定關(guān)于CMP裝置的基板處理工序或方法的選單數(shù)據(jù)的選單存儲(chǔ)部(512)讀取選單數(shù)據(jù)，比較讀取的選單數(shù)據(jù)與由數(shù)據(jù)收集部(522)所收集的數(shù)據(jù)，存在差異的情況下，判定為CMP裝置有異常。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種基板處理裝置的異常檢測(cè)裝置、及基板處理裝置。

背景技術(shù)

近年來，為了對(duì)半導(dǎo)體晶圓等基板進(jìn)行各種處理而使用基板處理裝置。基板處理裝置的一例可列舉用于進(jìn)行基板的研磨處理的CMP(化學(xué)機(jī)械研磨(Chemical MechanicalPolishing))裝置。

CMP裝置包括：用于進(jìn)行基板的研磨處理的研磨單元；用于進(jìn)行基板的洗凈處理及干燥處理的洗凈單元；及對(duì)研磨單元交接基板，并且接收由洗凈單元實(shí)施洗凈處理及干燥處理后的基板的裝載/卸除單元等。此外，CMP裝置包括在研磨單元、洗凈單元及裝載/卸除單元中進(jìn)行基板的輸送的輸送單元。CMP裝置一邊通過輸送單元輸送基板，一邊依序進(jìn)行研磨、洗凈及干燥的各種處理。

另外，CMP裝置等基板處理裝置已知有檢測(cè)基板處理裝置的動(dòng)作有無異常的技術(shù)。例如，基板處理裝置的操作用計(jì)算機(jī)(PC)中儲(chǔ)存有規(guī)定關(guān)于基板處理的工序或方法的選單數(shù)據(jù)。操作用計(jì)算機(jī)對(duì)各單元的序列發(fā)生器輸出基于選單數(shù)據(jù)的基板處理指令。各單元的序列發(fā)生器通過基于從操作用計(jì)算機(jī)所輸出的選單數(shù)據(jù)來控制單元中的各零件，來實(shí)現(xiàn)按照選單數(shù)據(jù)的處理。

在此，例如研磨單元的序列發(fā)生器從操作用計(jì)算機(jī)所接收的選單數(shù)據(jù)的內(nèi)容是“每單位時(shí)間流出50mL的研磨液”。此時(shí)，研磨單元的序列發(fā)生器控制研磨單元中各零件，使研磨液每單位時(shí)間流出50mL。此外，在研磨單元中設(shè)有研磨液的流量傳感器，以檢測(cè)研磨液的流量。序列發(fā)生器比較由流量傳感器所檢測(cè)的研磨液流量與選單數(shù)據(jù)的流量(50mL)。若比較結(jié)果無差異，或差異程度在預(yù)設(shè)的閾值以內(nèi)的話，序列發(fā)生器判定基板處理裝置(研磨單元)無異常。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1日本專利特開2011-143537號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的課題

但是，現(xiàn)有技術(shù)并未考慮到使基板處理裝置的異常的檢測(cè)精度提高。

例如，以往的異常檢測(cè)方法中，在從操作用計(jì)算機(jī)對(duì)各單元的序列發(fā)生器輸出選單數(shù)據(jù)的過程，因某些原因而發(fā)生選單數(shù)據(jù)內(nèi)容改變等的異常的情況下，檢測(cè)該異常困難。

例如，儲(chǔ)存于操作用計(jì)算機(jī)的選單數(shù)據(jù)的內(nèi)容是“每單位時(shí)間流出60mL的研磨液”。此時(shí)，在從操作用計(jì)算機(jī)輸出選單數(shù)據(jù)至研磨單元的序列發(fā)生器的過程，因某些異常而改變成“每單位時(shí)間流出50mL的研磨液”的內(nèi)容。于是，現(xiàn)有技術(shù)如上述那樣比較序列發(fā)生器所接收的選單數(shù)據(jù)內(nèi)容與由流量傳感器所檢測(cè)的流量，判定基板處理裝置有無異常。因此，若流量傳感器所檢測(cè)的流量為50mL的話則判定為無異常。其結(jié)果，原本每單位時(shí)間應(yīng)流出60mL的研磨液，盡管實(shí)際上每單位時(shí)間流出50mL的研磨液，可能對(duì)基板處理裝置的動(dòng)作仍判定為無異常。

因此，本發(fā)明的課題為使基板處理裝置的異常的檢測(cè)精度提高。

用于解決課題的手段