[發明專利]雙邊錯位差動共焦測量方法

有效

• 申請號: 201510015231.4
• 申請日: 2015-01-12
• 公開（公告）號: CN104568390B
• 公開（公告）日: 2017-07-28
• 發明（設計）人: 趙維謙;邱麗榮;王允
• 申請（專利權）人: 北京理工大學
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 北京理工正陽知識產權代理事務所(普通合伙)11639
• 代理人: 王民盛

1.一種雙邊錯位差動共焦測量方法，包括下列步驟：

步驟一、將共焦軸向強度響應數值(14)自身一側邊的數據組進行平移S并與其另一側邊數據組交匯并進行錯位差動相減處理；

步驟二、將錯位差動相減處理得到的數據進行曲線擬合，求曲線擬合方程；

步驟三、求擬合曲線方程的解，確定共焦軸向強度響應數值(14)的共焦軸向響應特性曲線極值點的準確位置；

其特征在于：實現雙邊錯位差動相減的過程包括下列步驟：

步驟Ⅰ、確定共焦軸向強度響應數值(14)的最大值M，并以M為界將共焦軸向強度響應數值(14)分割為左側邊數據組(15)和右側邊數據組(16)；

步驟Ⅱ、保持左側邊數據組(15)和右側邊數據組(16)其中一組不動，使另一數據組沿橫向坐標平移S得到新的左側邊平移數據組(17)，并使左側邊平移數據組(17)和右側邊數據組(16)在值為M/2的附近交匯；

步驟Ⅲ、對左側邊平移數據組(17)和右側邊數據組(16)分別進行同橫坐標點插值處理后再進行逐點相減處理得到雙邊交匯相減數據組(22)；

步驟Ⅳ、取雙邊交匯相減數據組(22)零值附近且對軸向位移敏感的數據段進行曲線擬合，得到雙邊交匯相減數據擬合曲線(23)和擬合方程I_D(z)；

步驟Ⅴ、求擬合曲線方程I_D(z)＝0的解z＝h；

步驟Ⅵ、依據h值及相對橫坐標平移量S求得共焦測量系統焦點的精確位置。

2.根據權利要求1所述的雙邊錯位差動共焦測量方法，其特征在于：步驟Ⅱ中將左側邊數據組(15)和右側邊數據組(16)的橫坐標分別加、減S/2，使左側邊數據組(15)和右側邊數據組(16)在值為M/2的附近交匯。

3.根據權利要求1所述的雙邊錯位差動共焦測量方法，其特征在于：步驟Ⅳ中對雙邊交匯相減數據組(22)直接進行直線擬合來加速處理過程。

4.一種雙邊錯位差動共焦測量方法，包括下列步驟：

步驟一、將共焦軸向強度響應數值(14)自身一側邊的數據組進行平移S并與其另一側邊數據組交匯并進行錯位差動相減處理；

步驟二、將錯位差動相減處理得到的數據進行曲線擬合，求曲線擬合方程；

步驟三、求擬合曲線方程的解，確定共焦軸向強度響應數值(14)的共焦軸向響應特性曲線極值點的準確位置；

其特征在于：實現雙邊錯位差動相減的過程包括下列步驟：

步驟Ⅰ、求共焦軸向強度響應數值(14)的最大值M，并以M為界將共焦軸向強度響應數值(14)分割為左側邊數據組(15)和右側邊數據組(16)；

步驟Ⅱ、各選左側邊數據組(15)和右側邊數據組(16)在值為M/2的左側邊段數據組(19)和右側邊段數據組(20)；

步驟Ⅲ、保持左側邊段數據組(19)和右側邊段數據組(20)中一組不動，使另一段數據組沿橫向坐標平移S得到平移段數據組(21)，并使右側邊段數據組(20)和平移段數據組(21)在值為M/2的附近交匯；

步驟Ⅳ、對右側邊段數據組(20)和平移段數據組(21)分別進行曲線擬合，并得到擬合曲線方程I_A(z)和I_B(z)；

步驟Ⅴ、求解兩擬合曲線方程I_A(z)-I_B(z)＝0的解z＝h，同時得到相減擬合曲線(27)；

步驟Ⅵ、依據h值及相對橫坐標平移量S求得共焦測量系統焦點的精確位置。

5.根據權利要求4所述的雙邊錯位差動共焦測量方法，其特征在于：步驟Ⅲ中將左側邊段數據組(19)和右側邊段數據組(20)沿橫坐標分別相向平移S/2，使兩組側邊數據組在值為M/2的附近交匯。

6.根據權利要求4所述的雙邊錯位差動共焦測量方法，其特征在于：步驟Ⅳ中對左側邊段數據組(19)和右側邊段數據組(20)直接進行直線擬合來加速處理過程。

7.一種雙邊錯位差動共焦測量方法，包括下列步驟：

步驟一、將共焦軸向強度響應數值(14)自身一側邊的數據組進行平移S并與其另一側邊數據組交匯并進行錯位差動相減處理；

步驟二、將錯位差動相減處理得到的數據進行曲線擬合，求曲線擬合方程；

步驟三、求擬合曲線方程的解，確定共焦軸向強度響應數值(14)的共焦軸向響應特性曲線極值點的準確位置；

其特征在于：實現雙邊錯位差動相減的過程包括下列步驟：

步驟Ⅰ、將共焦軸向強度響應數值(14)沿橫向坐標平移S得到移位共焦軸向強度響應數值(24)，并使共焦軸向強度響應數值(24)與共焦軸向強度響應數值(14)的側邊交匯；

步驟Ⅱ、對共焦軸向強度響應數值(14)和移位共焦軸向強度響應數值(24)分別進行同橫坐標點插值處理后，再進行逐點相減處理得到相減共焦軸向強度響應數據組(25)；

步驟Ⅲ、取相減共焦軸向強度響應數據組(25)零值附近且對軸向位移敏感的數據段進行曲線擬合，得到相減共焦特性曲線(26)和其擬合方程I_D(z)；

步驟Ⅳ、求擬合方程I_D(z)＝0的解z＝h；

步驟Ⅴ、依據h值及相對橫坐標平移量S求得共焦測量系統焦點的精確位置。